SJ_T 11508-2015集成电路用 正胶显影液.pdf

ICS 31. 030L 90备案号：50565-2015中华人民共和国电子行业标准SJ/T 11508-—2015集成电路用正胶显影液Positive Photoresist developer for Integrated Circuit2015－10-01 实施2015- 04- 30 发布发布中华人民共和国工业和信息化部J SJ/T 11508—2015前言本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。本标准主要起草人：戈士勇、何珂、王周霞、主香、裴会川。:-教“--热家o.-.- :--1- *--- 5-.-*...- SJ/T 11508--2015集成电路用正胶显影液1 范围本标准规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用正胶显影液，以下简称正胶显影液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。规范性引用文件2下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191‘包装储运图示标志化学试剂标准滴定溶液配制：GB/T 601:化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T 6021GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备化学试剂色度测定通用方法GB/T 605.4.GB/T 631--2007·化学试剂 氨水.:化工产品采样总则GB/T 6678分析实验室用水规格和试验方法GB/T 6682数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T 8170化学试剂氯化物测定通用方法GB/T 9729GB/T 11446.1电子级水GB15258化学品安全标签编写规定GB50472电子工业洁净厂房设计规范SJ/T11510--2015液晶显示器用铝腐蚀液3术语3.1 超纯硝酸 ultrapure nitric acid金属离子含量不大于1 μg/L的硝酸。1 SJ/T 11508—20154性状和技术要求4.1 性状本试剂为无色透明有刺激性氨味的碱性液体，为四甲基氢氧化铵的水溶液，四甲基氢氧化铵含量允许相对偏差为土1.0%。4. 2技术要求正胶显影液技术要求应符合表1的规定：表 1技术要求指标项目1I III色度≤10Hazen颗粒 (≥0.3μm)一一≤100pcs/mL颗粒(≥0.5μm)≤5025≤10pcs/mL氯化物（C1)≤0.1≤0.1≤0.1mg/kg.碳酸盐（CO;)≤100≤50≤30mg/kg磷酸盐（PO4)≤0.50.5≤0.4mg/kg氟硅酸盐（SiF。）≤5050≤10mg/kg银(Ag)≤100.≤10≤1μg/kg铝(AI)≤100≤10≤1μg/kg砷(As)≤100≤10≤1μg/kg金(Au)≤500≤10≤1μg/kg硼 (B)≤100≤10≤1μg/kg钡(Ba)≤100≤10≤1μg/kg铍(Be)≤100≤10≤1μg/kg2 SJ/T 11508—2015表1 (续)指标项目11II11铋(Bi)≤1≤100≤10μ g/kg钙(Ca)≤1≤10≤100μ g/kg镉 (Cd)≤1≤10≤100μ g/kg钴(Co)≤1≤10≤100μg/kg铬(Cr)≤10≤1≤100μ g/kg铜(Cu)≤1≤10≤100μg/ kg.锑(Sb)≤1≤10≤100μ g/kg铁(Fe)≤1≤10≤100μg/kg镓(Ga)≤1≤10≤100μg/kg汞 (Hg)≤1≤10≤100μ g/kg铟（In)≤1≤10≤100μ g/kg钾 (K)≤1≤10≤100μ g/kg锂(Li)≤1≤10≤100μ g/kg镁 (Mg)≤1≤10≤100μg/kg锰(Mn)≤1≤10≤100μg/ kg钼(Mo)≤1≤10≤100μg/kg钠(Na)≤1≤10≤100μ g/kg镍(Ni)≤1≤10100μ g/kg铅(Pb)≤110≤100μg/kg3 SJ/T 11508—2015表1 (续)指标项目IIIII铂(Pt)≤100≤10≤1μg/kg锡(Sn)≤100Λ101μg/kg锶(Sr)≤10≤100≤1μg/kg钛(Ti)≤100101μg/kg钒 (V).≤100≤10≤1μg/kg锌(Zn)100≤101μg/kg意5试验方法5. 1一般规定本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、质测定用标准溶液和所用制剂及制品按GB/