简析电子束离子束激光束加工的区别.docxVIP

. 简析电子束、离子束、激光束加工的区别？ 答案： 1.加工原理：电子束和离子束的加工原理相像，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，进而实现加工；而激光束加工的机理是热效应。 2.加工装置：电子束和离子束相像，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成；而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。 3.加工特点： 电子束： 1）.束径小、能量密度高； 2）.非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在显然的机械切削力，不产生宏观 应力和变形； 3）.被加工对象范围广； 4）.电子束能量高，加工速度快、效率高； 5）.电子束加工需要一套专用设施和真空系统，价钱昂贵。离子束： 1）.加工精度和表面质量高； 2）.加工材料宽泛； 3）.加工方法丰富； 4）.性能好，易于实现自动化； 5）.应用范围宽泛，可根据加工要求选择。 激光束： 1）.加工精度高； 2）.加工材料范围广； 3）.加工性能好； 4）.加工速度快、效率高； 5）.价钱昂贵 精品 . 加工方法： 电子束; 1）.电子束扫描曝光； 2）.电子束投影曝光； 3）.电子束表面改性。离子束： 1）.离子束溅射去除加工； 2）.离子束溅射镀膜加工； 3）.离子束注入加工； 4）.离子束曝光加工。激光束： 1）.加工精度高； 2）.加工材料范围广； 3）.加工性能好； 4）.加工速度快、效率高； 5）.价钱昂贵。 如有侵权请联系见告删除，感谢你们的配合！ 精品