透射电子显微镜原理.docxVIP

第二章透射电子显微镜 【教学内容】透射电子显微镜的构造与成像原理透射电镜图像的成像过程透射电镜主要性能表面复型技术透射电镜观察内容【重点掌握内容】透射电子显微镜构造表面复型技术复型电子显微镜图像的分析。 【教学难点】表面复型技术2.1透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器。 Therearefourmaincomponentstoatransmissionelectronmicroscope: 1.2.3 1. 2. 3. avacuumsystem thenecessaryelectronics(lenssuppliesforfocusinganddeflectingthebeamandthehighvoltagegenerator fortheelectronsource) 4.software星明系坑成像系建观搴记录系笼一殷- 4. 星明系坑成像系建观搴记录系笼 一殷-1口’托.由机摧泵衣扩蕈泵宅成 新型电髭口多子泵未提高真空庚，达ID、托电手定如速电子用小电建高电压电透建髭泰瑾用大电鲨黛压电透 EDS WDSEELS 电子光孚系坑(髭首) 真室系坊 销电控制系坑 电子光学系统(镜筒)(anelectronopticalcolumn)是其核心，它的光路图与透射光学显微镜相似，如图所示，包括：照明系统，成像系统，观察记录系统。 图2-1投射显微电镜构造原理和光路 2.1.1照明系统 组成：由电子枪、聚光镜（1、2级）和相应的平移对中、倾斜调节装置组成。 作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度高、束斑小、束流稳定的照明源。为满足明场和暗场成像需要，照明束可在20-30范围内倾斜。 1.电子枪 电子枪是电镜的电子源。其作用是发射并加速电子，并会聚成交叉点。目前电子显微镜使用的电子源有两类： 热电子源一一加热时产生电子，W丝，LaB6 场发射源一一在强电场作用下产生电子，场发射电镜FE 热阴极电子源电子枪的结构如图2-2所示，形成自偏压回路，栅极和阴极之间存在数百伏的电位差。 电子束在栅极和阳极间会聚为尺寸为d0的交叉点，通常为几十um。栅极的作用：限制和稳定电流。 图2-2电子枪结构 Tung.物】 3% fieldeinission Operalingtemperature Thrmiociic2S00K Thermionic2000K Co：dgunannLuent Br.ghtnesssilOOkV 5x105A/on2s 5jcIQ6Aicm2f 10to10^A/cm2sr Totalcurrent 40to100mA 5to20mA 1to10mA Probecwrrenim10nnigpcl lOd2A 10,aA Ba Vidw^lspotsi踞 2Qn^A 10mm 5to10niT| Energyspread 3eV 1.5eV 0.2eV Typicalvacuuin IQ-Te 10免Toft lO^ta10iaTorT Typical-irf^lirne IDSOSu传 5001?10WJ卜叫 1000tiwr$ 2.聚光镜 从电子枪发射出的电子束，束斑尺寸大，相干性差，平行度差，为此，需进一步会聚成近似平行的照明来，这个任务由聚光镜实现，通常有两级聚光镜来聚焦。如图2-3。 C1—为强磁透镜， C2一弱磁透镜，长焦,小a 为了调整束斑大小还在C2聚光镜下装一个聚光镜光栏。通常经二级聚光后可获得N,um的电子束斑。 同时，为了减小像散，在c2T还要装一个消像散器，以校正磁场成轴对称性的。 电于交叉点。50，的＞一第一幌光徵■linn 电于交叉点。50，的 ＞一第一幌光徵 ■linn 第二姿光藏M寸2 图2-3照明系统光路图 2.1.2成像系统 由物镜、物镜光栏、选区光栏、中间镜（1、2）和投影镜组成. ProjectorIlensProjectorslen^EM6401邛SA1lower ProjectorIlens Projectorslen^ EM6401邛 SA1lowermags Zl\ EMfni4SA2highermags GbjecBwlens inWnediafieandDi^atbonweekly^nergls^d DrnractMxitens inlcfmMuMtSndiDilrractWstrong^energised 1）物镜：强励磁短焦透镜（f=1-3mm），放大倍数100—300倍。 作用：形成第一幅放大像 2）物镜光栏：装在物镜背焦面，直径20—120um，无磁金属制成。 作用：a.提高像衬度，b.减小孔经角，从而减小像差。C.进行暗场成像 3）选区光栏：装在物镜像