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基于热压印技术的微透镜阵列制作 微透镜矩阵是指由10m到100m组成的一系列微透镜矩阵。在光学传感器、光学计算、光互传播以及光学神经网络等领域，利用微透镜矩阵，可以起到一定的作用，例如对光的发射、聚焦、折叠、分离、集成、开关、杂交、接收等。在这项工作中，我们提出了一种使用热压印技术制作聚合物材料的方法。热压印技术是一种制造塑料材料和微组件的新兴制造技术。这是在一定的温度和压力下，在适当的压力下，制备的模型按照一定的压力在适当的压力下加热到玻璃的温度下，然后再绘制。其基本过程如图1所示。主要步骤包括：预制模型、压印和脱印。与目前广泛应用的硅片或玻璃制造微透镜矩阵的方法相比，热压印的工艺简单，对制造设备的要求较低。由于热压印的打印分辨率主要取决于模型的图形结构的分辨率，因此热压印具有良好的一致性。此外，在压印过程中，模型的磨损非常小。样品可以压在多个方面。在一定的温度、压力和压力下，可以获得一个良好的重复性和均匀性的图形结构。因此，热压印技术可以实现微透镜矩阵的低成本、大量、高分辨率生产。 1 温度、温度、时间分布 热压印设备如图2所示,其主要组成部分及其技术指标如下:a.Z方向的运动控制模块,实现Z方向的运动以控制模板和样品之间的距离和压印压力的大小,位移的分辨率为0.1μm.b.XY方向的运动控制模块,用于模板与样品之间的对准以及较大基片上的重复压印的定位,位移的分辨率为0.1μ