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高纯气体的配管及材质 1．高纯气体管路的设计重点： （1）关于不一样特征的气体，要规划独立的供给地区，一般分为三个区：腐化性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将同样性 质的气体集中增强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄露口，若空间不足，可考虑将惰性气体搁置与毒性/腐化性气体区。 （2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，往常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S, 毒性/腐化性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特征有关，后者使用点的管 径一般为1/4”～3/8”。 3）依据用气设施的散布状况，高纯气体的管网不宜过大或许过长；宜采纳不关闭的环形管路，在系统尾端连续不停排放少许的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”惹起高纯气体的污染。 （4）管路中应减少不流动气体的“死空间”，不该设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设施之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关次序、系统吹除，以保证供气系统的安全、靠谱运转和防备“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。 5）对高纯气体纯度要求不一样的用气设施，宜采纳分等级高纯气体输送系统；也可采纳同样级输送系统，可是在纯度要求高的用气设施周边处设尾端气体提纯装置。 6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必需的连续检测仪器，如权衡水含量或许氧杂质含量平剖析仪外，还 应设置按期取样用的检测采样口，以便按规准时间进行采样，剖析高纯气体中各样杂质的含量。 （7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供给10－9级的高纯气体，为了保证尾端用气工艺设施处的气体纯度，负气体中的杂质含量 （包含尘粒）控制在规定的数值内，一般在设施前设置尾端纯化妆置，或尾端高精度气体过滤器 2．高纯气体配管及附件材质的选择 （1）选择标准 ●采纳浸透性小、出气速率低、吸附性差的资料： 当前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道资料采纳不锈钢光明退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，可是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特色及要求以下表所示： 高纯气体使用管材的特色及要求 项目 SS304BA或SS316BA SS316LEP 钢材冶炼方法 真空氧气脱碳法 真空氧气脱碳法或真空电弧熔炼法 冷延→热办理→冷拉→光明热办理→脱脂→一般水 冷延→热办理→冷拉→光明热办理→脱脂→一般水洗→纯水水洗 洗→电解抛光→一般水洗→碱中和→一般水洗→硝 酸浸渍→水洗→冷纯水水洗（ 10000级干净环境）→ 制作过程 （10000级干净环境）→纯氮吹扫（ 1000级干净环境）→检查→包 装（压帽氮封及双层聚乙烯外包装充纯氮保护） 热纯水水洗（10000级干净环境）→纯氮吹扫 （100/1000级干净环境）→检查→包装（压帽氮封 及双层聚乙烯外包装充纯氮保护）→最后检查 内表面粗拙度Rmax ～μm μm 表面硬度（HRB） 90 80 公差要求项目 管外径、管壁厚、管长、管道垂直度 管外径、管壁厚、管长、管道垂直度 注：①管路型式以气体特征设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反响气体，则采纳高级其余 SS316L-EP管；使 用与芯片接触但不参加制程反响的气体则采纳 SS316L-BA管。 /外管材质一般为 ②关于自燃爆炸，有剧毒的特种气体，如 SiH、PH、AsH 等则考虑使用双套管，它的内 4 3 3 SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，第一可保护内管直接遇到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用有关的检测设施检测，当前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气保持正压，二者皆可接上压力表或许压力警报器检知泄露状态。 ●内表面办理：往常采纳的方法有机械喷砂、化学溶液冲洗、化学抛光、电抛光等，当前宽泛应用的管材有光明退火管和电抛光管。 ●阀门的采纳：高纯气体对系统所用阀门的严实性有十分严格的要求，当前国内干净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采纳SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔阂阀、涟漪管阀和球阀。涟漪管阀的严实性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填 料，所以没有渗漏现象：隔阂阀除了严实性与涟漪管阀相当之外，还拥有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以合用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或许危险性大的气体。 ●管道连结：①高纯气体一般采纳手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式往常采纳承插焊和对焊，承插焊的利处在于施焊时管道的 对中，方便焊接，但弊端是因为管道与承插口之间有空隙，会存在“死空间’