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本发明涉及激光刻蚀设备技术领域，本发明公开了一种组合式振镜三维激光刻蚀设备，包括主体结构、平面折射结构以及增维折射结构；所述平面折射角结构固定设置于主体结构中的上壳体内，所述增维折射结构固定设置于主体结构中的下壳体内，本发明通过平面折射结构可以实现沿X轴、Y轴所形成平面的范围扫描，同时借助调节Y镜的移动，提高整体平面扫描范围；通过驱动增维折射结构，使Z镜与Y镜相对，实现三次折射，使激光沿Z轴方向运动，进而实现三维空间的扫描加工；继而可以实现对立体的工件侧避加工，无需调转工件；整体构造简单，便于组
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116786989 A
(43)申请公布日 2023.09.22
(21)申请号 202310913492.2
(22)申请日 2023.07.24
(71)申请人 大连柯映信息科技有限公司
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