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认识球差校正透射电镜-从这里开始- ————————————————————————————————作者： ————————————————————————————————日期： 认识球差校正透射电镜，从这里开始~ 科袖科袖网小程序小程序01序言 球差校正透射电镜(sphericalaberrationcorrectedTransmission ElectronMicroscope:ACTEM)随着纳米材料的盛行而进入普 通研究者的视野。超高的分辨率配合诸多的剖析组件使 ACTEM成为深入研究纳米世界不可或缺的利器。这里将给 大家介绍ACTEM的基来源理，何为球差，怎样校正，ACTEM 的种类，以及怎样为ACTEM准备你的样品。最后我会介绍 一下透射电镜的最前沿，球差色差校正透射电镜。 什么是球差？ 100kV的电子束的0.037埃，而普通TEM的电分辨率只是 为0.8纳米。这主假如由TEM中磁透镜的像差造成的。球差即为球面像差，是透镜像差中的一种。其他的三种主要像差 为：像散、彗形像差和色差。透镜系统，不论是光学透镜仍是电磁透镜，都无法做到绝对完美。关于凸透镜，透镜边缘的汇聚能力比透镜中心更强，进而致使所有的光芒（电子）无法汇聚到一个焦点进而影响成像能力。 在光学镜组中，凸透镜和凹透镜的组合能有效减少球差，然 而电磁透镜却只有凸透镜而没有凹透镜，因此球差成为影响 TEM分辨率最主要和最难校正的因素。别的，色差是由于能 量不均一的电子束经过磁透镜后无法聚焦在同一个焦点而 造成的，它是仅次于球差的影响TEM分辨率的因素。 透射电镜球差校正器有两种，一种是是聚光镜球差校正器 （ProbeCscorrector），另一种是物镜球差校正器（ImageCs corrector）。市场上商品化的球差校正透射电镜有三种组合： 一种是只装备聚光镜球差校正器的球差电镜一种是只装备 物镜球差校正器的球差电镜一种是装备聚光镜和物镜球差 校正器的双球差校正透射电镜。 如果配备不同的样品杆，和环境氛围装置，能够在球差电镜 上进行原位电子显微学研究。图一，球差和色差的成因示意 图 怎样校正球差？ 自TEM发明后，科学家一直致力于提高其分辨率。 1992年 德国的三名科学家HaraldRose（UUlm）、KnutUrban（FZJ） 以及MaximilianHaider（EMBL）研发使用多极子校正装置 调节和控制电磁透镜的聚焦中心进而实现对球差的校正，最 终实现了亚埃级的分辨率。被称为ACTEM三巨头的他们也 获得了2011年的沃尔夫奖。多极子校正装置经过多组可调 节磁场的磁镜组对电子束的洛伦茨力作用逐步调节TEM的 球差，进而实现亚埃级的分辨率。图二，三种多极子校正装 置的示意图和球差改正光路示意图 04ACTEM的种类 TEM中包含多个磁透镜：聚光镜、物镜、中间镜和投影镜等。 球差是由于磁镜的结构不完美造成的，那么这些磁镜组都会 产生球差。当我们改正不同的磁透镜就有了不同种类的 ACTEM。回忆一下STEM的原理，当我们使用STEM模式时，聚光镜汇聚电子束扫描样品成像，此时聚光镜球差是影 响分辨率的主要原因。 因此，以做STEM为主的TEM，球差校正装置会安装在聚光镜地点，即为AC-STEM。而当我们使用image模式时，影响成像分辨率的主假如物镜的球差，此种校正器安装在物 镜地点的即为AC-TEM。自然也有在一台TEM上安装两个校正器的，就是所谓的双球差校正TEM。别的，由于校正器有电压限制，因此不同的型号的ACTEM有其对应的加快电压，如FEITITAN80-300就是在80-300kV电压下运行，也有特意为低电压配置的低压ACTEM。 05球差透射电镜VS普通透射电镜，有何特点和优势？ 1）分辨率：ScherzerResolution,d=0.65Cs1/4λ3/4，当前最高分辨率可达0.06nm，比普通高分辨高了一个数量级。 2）原理：球差电镜安装了物镜改正器或许聚光镜改正器，除去了一些透镜系统中存在的球面像差，将透射电镜的分辨率提高到了亚埃级（0.06nm） 无校正器 有校正器 （3）CEOS企业球差校正器实物图：（4）双球差电镜性能指 标：06球差电镜能够做哪些测试工作？ 球差电镜能够在两种模式下工作，分别是“TEM模式”和 “STEM模式”，在TEM下更多是察看容貌，在STEM模式下，能够做EDS和EELS成分线扫和mapping。 （1）TEM模式： 低倍容貌像、高分辨像、衍射、汇聚束衍射、纳米束衍 射,EFTEM(配GIF系统)，高分辨图像透射束和衍射束的相干像，衬度与焦聚相关，如果要解析原子结构像，样品要求比较薄，现在用户使用不多。 但如果想做原位电子显微学研究，一般都在此模式下进行。收集图像的设施是CCD。 TEM图像 TE