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驻极体式微型发电机的最新进展 1 环境能量拾振式微型发电机 随着网络系统规模的减小，小型高效能源系统的开发体积小、重量轻、能量密度高、可靠性好、环境保护等重要性，对网络系统具有重要意义。微能源技术具有多学科交叉的特点，包括材料学、磁体学、力学、机械、电化学等多个学科。因此，它的发展也将鼓励相关学科在微规模领域的快速发展。微能源主要分为两种类型：局部能量消耗型和环境能量采样型小型能源装置。它具有比能源高、电压高、工作量大等优点。然而，它们需要更换或补充燃料，这在某些应用场景是不可能实现的。例如，嵌入式和分布系统的环境能量采样小型能源装置将环境中的能量源转换为电子系统所能应用的能源，主要包括微能电池、小型热电池和小型振动装置。这些环境能量不仅可以持续再生，还可以提高网络的使用寿命和网络容量，并且具有经济、安全和环保的特点。 微型振动式发电机主要利用电磁、静电、压电等效应, 通过振动能拾振装置将外部的机械振动能转换成电能, 适用于各种存在振动的环境中, 可为无线传感器节点或低功耗微型电子设备供电.根据能量转换原理的不同, 微型振动式发电机分为电磁式、压电式、静电式3种类型.电磁式微型发电机是利用电磁感应现象, 将机械能转化为电能, 通常利用永磁体和导体之间的相对运动产生电能.其最为常用和成熟, 但电压值很小, 须增加线圈数或者是增大磁场来提高电压, 但是这两者都会受到芯片的尺寸限制.压电式微型发电机是利用压电材料受到压力作用时会在两端面间出现电压的性质将机械能转化为电能.其功率密度较大, 但是串联阻抗大.静电式微型发电机是通过改变电容来产生电能.三者相比, 无论结构还是材料前两者都难以与微加工工艺兼容.而静电式功率密度中等, 其微型可变电容可以通过相对成熟的硅微加工技术制作. 从20世纪末开始, 机械、电气、材料等领域的很多研究人员展开了对微型振动式发电机的探索研究[11,12,13,14,15,16,17].驻极体式微型发电机是静电式发电机中的研究热点, 它是利用驻极体在电容之间产生原始电压差, 存储着一定电荷量的电容在振动激励下产生相对位移, 实现电荷的流动, 即通过改变电容将振动能产生成电能.这种发电机的优点是无需外加电源, 并且易于用微加工工艺制作.本文将从驻极体材料及注极方法、振动能拾取方式、转换效率的提高等3个方面阐述驻极体式微型发电机的研究现状和发展趋势. 2 表面荷载密度 驻极体是指能够长期存储空间电荷和 (或) 偶极电荷的电介质材料, 主要通过在光和热的条件下对电介质两端施加高电场或者通过电晕和电子束注入等方式使驻极体表面沉积电荷.驻极体分为有机驻极体和无机驻极体.有机驻极体具有电荷密度高、稳定性好等优点, 因此研究初期驻极体式发电机主要集中在有机驻极体, 主要包括聚四氟乙烯 (PTFE, 俗称特氟龙Teflon) 、氟化乙丙稀共聚物 (FEP) 和聚偏氟乙烯 (PVDF) 等.其中, Teflon是一种典型的有机驻极体, 它不仅电荷密度及稳定性高, 而且即使在高湿环境下, 沉积电荷也能显示长寿命, 常用在驻极体式微发电机中. 2005年, 日本东京大学提出的一种全氟树脂 (CYTOP) 为驻极体材料的发电机.该发电机采用高性能的聚合驻极体材料CYTOP提供电荷.CYTOP材料与Teflon AF相比它的优点在于:1) CYTOP有更大的击穿电压, 为110 kV/mm, 所以表面电荷密度的理论限制是Teflon AF的5倍;2) 很容易制作厚度为20uf06dm的CYTOP薄膜;3) CYTOP材料和MEMS工艺相兼容.他们最近报道是在CYTOP薄膜里添加硅烷耦合试剂, 得到1.5 mC/cm2的高表面电荷密度, 是Teflon AF的3倍, 在20 Hz振动频率下, 得到0.7mW的功率, 是之前报道的2.5倍.2008年, Lo等人提出二聚对二甲苯 (Parylene HT) 作为驻极体材料的发电机.Parylene HT可以在室温下通过化学气相淀积方法得到, 并且可以用氧等离子刻蚀图形化, 与微加工工艺兼容性较好, 它的表面电荷密度为3.69 mC/m2. Teflon和CYTOP等都属于有机驻极体, 虽然性能优异, 但是难以图形化, 且与IC工艺兼容性较差.而硅基无机驻极体 (如SiO2和Si3N4) 具有高电荷稳定性并且与标准IC和MEMS工艺兼容的优点.因其出色的电荷存储性能和电荷保持性能, 双层SiO2/Si3N4膜驻极体材料得到了较为深入的研究和广泛的应用.热氧化层击穿电压可达10 MV/cm, 其表面电荷密度可达1.8uf06dC/cm2, 可经受较高的温度 (例如300uf0b0C) 和湿度 (例如95%RH) .针对传统热氧化、APCVD、LPCVD等工艺生长温度高、生长速率慢、残余应力大