第一章 集成电路工艺基础及版图设计
n 1.1 引言
n 1.2 集成电路制造工艺简介
n 1.3 版图设计技术
n 1.4 电参数设计规则
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第 1 页 共 108 页
n 集成电路的制造需 非常复杂的技术,它主
由半导体物理与器件专业负责研究。VLSI设计者可
以不去深入研究,但是有必 了解芯片设计中的工艺
基础知识,才能根据工艺技术的特点优化电路设计方
案。对于电路和系统设计者来说,更多关注的是工艺
制造的能力,而不是工艺的具体实施过程。
n 由于SOC的出现,给IC设计者提出了更高的 求,
也面临着新的挑战:设计者不仅 懂系统、电路,也
懂工艺、制造。
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