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x-射线荧光光谱分析技术发展 0 x-ct-ms分析技术 x射线光谱分析方法是用x射线光谱分析原始x射线光或其他微观粒子来激发测量对象中的原子，并产生荧光（二次x辐射）。物质成分分析和化学形态研究。1948年, 世界第一台波长色散X射线荧光光谱仪研制成功, 经历60多年的发展, X射线荧光光谱仪已成为大多数实验室及工业部门不可或缺的分析仪器设备, X射线荧光光谱分析技术已在各种科研和工业领域得到广泛的应用, 而且正在向更深的领域发展, 为经济建设和改善人类生活发挥越来越大的作用。 按色散和探测方法的不同, X射线荧光光谱分为波长色散X射线荧光光谱法 (WD-XRF) 和能量色散X射线荧光光谱法 (ED-XRF) 。 1 x射线灯丝光谱技术的发展 X射线荧光光谱技术的发展进程归纳为表1。 2 u3000x-ms法检测仪器 波长色散型光谱仪可分为三种:一种是对各元素逐一进行角度扫描顺序进行测定的所谓扫描式光谱仪;另一种是每种元素都单独配备一个固定的测角器同时分析多种元素的所谓多元素同时分析式X射线荧光光谱仪, 还有一种是前两种组合在一起的组合型仪器。虽然从仪器的光路结构来看, X射线荧光光谱仪依然是采用了布拉格定律, 但近年来, 随着计算机技术的发展, X射线荧光光谱仪不管在操作还是在分析性能与分析速度上都有了迅猛发展。 (1) 采用现代控制技术大大改善了仪器性能。日本理学在3064仪器上配备了碳道, 用于测定钢铁中的碳, 金德龙等用此仪器分析了白口铸铁和碳化硅中的碳, 通过改造电路, 调整晶体倾角, 从而建立了一种快速、准确测定碳的分析方法。仪器的主控电路也由原来的模拟电路改成了数字电路, 不但从仪器的性能上加以了改善, 还大大地降低了成本, 另外也使X射线荧光光谱仪小型化, 使仪器精度大幅度提升。 (2) 采用弯晶聚焦和小功率X射线管使仪器小型化。传统WD-XRF仪需3~4kW功率的X射线管作激发源, 因其X射线管功率大必须使用水冷或油冷。随着近年来小型波长色散仪器的出现, 因其仪器紧凑并采用弯晶聚焦, 不需要如此大功率的X射线管, 所用的X射线管激发功率一般为200~400 W, 故不需要水冷, 直接风冷就行。 (3) 检测技术的改进提高了分析效率。探测器技术的改进和多道脉冲幅度分析器技术及大规模CMOS集成电路等现代电子技术成果的出现, 使探测器接收光子的数量大大提高, 在保证同样分析精度情况下, 元素的测定时间缩短了近10倍, 大大地提高了分析效率。 (4) 元素检测范围扩大。前期便携式XRF分析仪使用闪烁计数器或正比计数管, 以单片机或袖珍计数器 (机) 作数据采集和处理工具, 在分析元素种类等方面存在严重不足。20世纪90年代中期相继推出了新型的端窗X射线管, X光管铍窗的厚度变薄, 铍窗厚度从125μm缩短为75, 50或30μm, 增加初级X射线的透射率;减小X光管窗口与样品的距离, 从而缩短了阳极和样品间的距离, 增大了X荧光的激发强度。同时测定轻元素的分光晶体改用多层薄膜。日本岛津公司研制的顺序型X射线荧光谱仪XRF-1800, 分析样品中元素从元素周期表中4Be~92U (同时扫描分析) , 分析浓度范围为几μg/g到100%常量, 检出限达10~0.5μg/L, 分析精密度为0.2%~2%。样品形态可以是固体或液体, 样品的量可以从几十毫克到几克。 (5) 数据处理系统智能化。窗式软件升级和汇编分析程序的智能化以及数学校正法的完善大大推动了数据处理系统的智能化。仪器的数学校正法软件基本上由经验影响系数法校正的程序, 升级为基本参数法程序或可变理论影响系数法程序。罗学辉等在文献中总结了利用软件的数学校正方法来改善铁矿石中多种元素测定时的基体效应及谱线重叠干扰校正的应用实例。 (6) 仪器操作转向智能化。为了节省人力, 降低分析成本, 新的XRF仪普遍采用计算机和大规模集成电路, 在强大的软件功能支持下, 能在无人操作下自动进行试样测试, 为在线、现场和流程分析带来了方便。樊兴涛等利用车载台式能量色散X射线荧光光谱仪, 在内蒙和新疆两地覆盖区的钻探现场, 对由轻便钻采集的覆盖层和基岩样品进行了贱金属分析, 实验表明, 现场分析方法快速、准确, 适用于野外钻探、化探等急需现场数据支持的工作。 (7) 单波长色散X荧光技术。X射线经分光后, 以单波长激发样品, 只测定一种元素。仪器小巧, 即插即用, 可放置于任何实验室, 分析器无运动部件。最低检测下限可到达0.15μg/g, 检测上限可达到10%, 一般检测范围为0~3 000μg/g。目前已有用于测硫、氯的单波长色散X荧光光谱仪, 广泛用于检测汽油、柴油和重油等石油产品。图1为单波长色散X荧光技术的原理示意图。 (8) 微区面分布的元素成像分析。从刚开始研发