x射线三维显微镜的研制与应用.docxVIP

x射线三维显微镜的研制与应用 自20世纪60年代首次在医疗诊断领域应用x线成像技术以来，x射线成像技术在成像原理、重建算法和技术支持方面取得了很大进步。该技术与其他成像手段如SEM/TEM与AFM/STM相比, 其特点是能够对检测对象实现三维透视成像, 而非表面成像, 因此更具有应用前景。目前X射线CT技术在医疗诊断、科学研究和工业检测中发挥着重要的作用, 是其他检测手段不可替代的, 应用范围越来越广, 并根据应用对象及目的不同, 逐渐分化出多种不同类型的CT成像技术和产品, 如果一个用户对自己产品材料有检测的需求, 那么就很有必要对期望采用的检测方法和手段有一些必要的了解, 这样才能保证采用合适的测量方法, 采集到真实可靠的测量数据, 获得正确的测量结果。 X射线三维显微镜 (显微CT) 是目前发展最热门、成长最快的CT成像技术门类之一, 已广泛地应用于微纳制造技术、新材料以及电子科学等领域。X射线三维显微镜是采用传统CT技术与光学显微技术相结合, 而发展形成的一种新型的三维透视显微成像系统。20世纪90年代末商业化的X射线三维显微成像系统的问世, 极大地拓宽了X射线三维显微成像技术的应用领域, 并随着X射线源、探测器及计算机技术的不断进步发展, 高分辨率X射线三维成像技术在近十几年来发展非常迅速, 其空间分辨率已达到微米至纳米量级。 本文对三英精密仪器有限公司研制的nano