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力学计量标准装置的发展与展望 1 力学计量概述 力学是计量学发展的第一个领域之一。力学计量主要包括质量、力值、压力、振动、流量等计量测试。力学计量在国民经济中起着非常重要的作用。 力学计量的理论基础是牛顿力学。质量是一个基本的物理量,质量单位是国际单位制(SI)现有七个基本单位之一,其它的力学量单位均属导出单位。力学量计量经过几十年的发展,建立了比较完善的力学计量体系。近年来,随着计算机技术、光电技术、数字化技术、微处理技术、图像显示技术、自动化技术、智能化技术等的广泛应用,力学计量有了新的飞跃,国内外已经建立了一大批量程宽,准确度高的计量标准装置。 本文将系统地综述力学各参数计量的发展历程,目前水平及先进的计量标准装置和方法,并对发展趋势进行预测。 2 振动试验 2.1 振动基准装置的研制、使用和反思 振动是用位移、速度、加速度和频率等物理量来描述。振动测试在诸如振动试验、结构分析、机器状态监测和故障诊断等现代工程中,测试数据的准确与否直接取决于计量结果。自上世纪50年代以来,我国及世界其它国家一直致力于振动计量标准装置的研究。据报道,上世纪50年代初,世界各国得到的振动校准结果很不一致,误差往往大于10%。经过几年的努力,校准误差降低了一个数量级,这主要是由于发明了绝对互易校准技术而实现的,其最低校准不确定度可达0.5%。进入60年代以来,激光干涉技术逐渐成熟,振幅测量可从0.2 μm提高到2 m以上,几乎能把振动的幅值范围全部覆盖起来,而且准确度高。激光干涉仪的振动基准装置很快在70年代研制出来,并获得广泛地应用。与此同时,互易校准由于其方法繁琐,频率范围窄,几乎无人使用了。目前,世界各国振动基准都采用激光干涉法校准。 2.2 激光干涉振动绝对校准 准确度最高的振动计量是绝对法校准,即用测量物理量的基本单位和导出单位的方法来确定振动传感器的灵敏度。 图1是一个典型的激光干涉法振动绝对校准装置,其核心就是一个迈克尔逊干涉仪,其工作原理是:氦-氖激光器产生一个单色性能好、波长稳定的激光,用激光的波长λ作基本单位来测量振幅的大小。 振动台每移动λ/2,光程差就变动一波长λ。按激光干涉原理,振幅x0可用下式计算 x0=R?λ8(λ=0.6328μm)(1)x0=R?λ8(λ=0.6328μm)(1) 一旦知道了振幅,传感器的灵敏度就可以按照被测传感器的输出量与振幅之比来计算,这就是激光干涉法振动绝对校准的基本原理。对干涉条纹的光电信号处理方法不同,形成了不同的振幅测量方法,主要有频比计数法,多周期平均值法,干涉条纹细分法,贝塞尔函数法。这些方法使用的振动校准频率范围为0.1Hz～50kHz。 把上述方法综合的应用于图1所示的系统中,变更相应的校准振动台,可实现从0.1Hz～50kHz的振动幅值绝对校准。目前,上述各类方法能达到的频率范围和校准不确定度列为表1。 迈克尔逊激光干涉仪法、频比计数法和贝塞尔函数法等技术成熟,设备简单,但它们仅能获取振动信号的幅值,无法测量其相位。上世纪90年代中期,德国物理技术研究院(PTB) 发明了激光干涉正弦逼近法,这是一种既可测量振动信号的幅值又可获取其相位的新方法。 正弦逼近法采用的是改进的迈克尔逊正交激光干涉仪,见图2。激光器发出的光束经偏振片后形成与分光镜轴线成45°的线偏振光束, 它等于两个互相垂直、光强相等的激光束的矢量和。 正弦逼近法在迈克尔逊激光干涉仪上做了改进,使其干涉输出有两路正交信号,加之后续的波形记录与数据处理,所以一次绝对校准后不仅获得了加速度幅值,而且可以获得相位 ,这是近年来振动绝对校准的一个突破。目前,按照ISO 16063 - 11,激光干涉振动绝对校准依频率范围与加速度动态范围的不同,其校准方法分为: (1) 条纹计数法; (2) 最小点法(贝塞尔函数法) (3) 正弦逼近法。方法(1)对应的频率范围为(1～800) Hz, 方法(2)对应的频率范围为800 Hz～10 kHz,方法(3)对应的频率范围为1 Hz～10 kHz。对测量不确定度的要求是在满足校准参考条件下,灵敏度值的校准不确定度应达到0.5% ,灵敏度相移的校准不确定度应达到0.5°,而当偏离了校准参考条件时,也应满足灵敏度值校准不确定度不大于1% ,灵敏度相移校准不确定度不大于1°。 在最近一次振动国际对比中,激光干涉振动一次绝对校准最好水平分别为:正弦直线振动量值的校准扩展不确定度为0.1%与0.2°。 2.3 振动计量发展趋势 近年来, 随着计算机软硬件技术和信号处理技术的飞速发展, 数据采集卡的采集速度、分辨力和存储量的大幅度增长,使得实现对频率变化达数MHz以上的光电信号的采集和存储成为可能。而计算机运算速度的提高和应用软件的强大功能,也使得完成数据分析处理和复杂的数学解算相对容易。这