电子封装、微机电与微系统第八章MEMS概述.pptxVIP

第八章 MEMS 概 述 1 第八章 MEMS 概 述 8.1 MEMS 的概念 8.2 MEMS 的特点 8.3 MEMS 的应用 8.4 MEMS技术与IC技术的差别 第八章 MEMS 概 述 2 8.1 MEMS的概念 MEMS是美国人的惯用词，在欧洲被称为微系统(Micro System Technology ，MST)，在日本被称为微机器(Micro- Machine)。由于美国的MEMS总体研究水平处于领先地位， 因此，人们通常沿用MEMS的叫法。 第八章 MEMS 概 述 3 8.2 MEMS的特点 MEMS并非是单纯的宏观机械的尺寸微小化，它的研 究目标在于：通过微型化、集成化来探索新原理、新功能 的元件和系统，开辟一个新的科学技术领域和产业。微电 子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体力学、微热 力学、微摩擦学、微结构学和微生物学等共同构成MEMS 的理论基础。 第八章 MEMS 概 述