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z衬度扫描透射电子显微术的最新进展 1 高分辨z-stem简介 人们观察的有两种方法。一种是通过非相位成像和成相位成像，另一种是通过成相位成像（如人的肉眼）获得的真实物体位置的成像。经过高分辨率透射电子显微镜（pgi）获得的晶银图像是成相位成像。在相干图像中，亮点和黑暗不是特定代表晶体中原子的真实位置。多年来，在物质结构的研究中，人们希望首先获得物体中的原子位置，而不需要进行复杂的理论工作，然后研究其物理。20世纪90年代末，原子分辨率的准确性，尤其是stem的出现，成为了现实。stem是科学研究领域中最重要的分析仪之一。这是微结构观察和微区域成分分析不可或缺的强大工具。本文简要介绍了其工作原理、最新研究进展和发展前景。 高分辨Z-STEM可以得到明场像与暗场像.透射电子分为非弹性散射电子与弹性散射电子.非弹性散射电子主要分布在比较低的散射角范围内,经低角度中轴探测器收集后成明场像;弹性散射电子主要分布在比较高的散射角范围内,经高角度环形暗场探测器收集后成暗场像. Z衬度成像就是利用高角度环形暗场探测器来收集高散射角范围内的弹性散射电子而成像,弹性散射电子的运动遵循卢瑟福散射公式,散射强度与原子序数(Z)的平方成正比,故称之为Z衬度成像.1988年,Pennycook等最先在高分辨STEM中采用高角度环形暗场(high angle annular dark field,HAADF