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台式扫描电子显微镜技术参数

1.总体要求：样品表面形貌快速检测，要求技术员/学生自己可以上手操作测试自己的样品，以加快实验进度。因此要求设备在满足分辨率的前提下，成像快速，放置环境要求低，可随意搬动；

仪器形态：小型、桌面，可移动，要求具有防震设计，可摆放于普通实验室桌面使用，要求仪器主机体积不超过300mm*600mm*500mm（W*D*H），重量不超过55kg；

无需建立专用的抗震实验室或独立的抗震台来放置，可不用减震装置就能放置在二楼以上楼层，并按照技术指标验收及稳定使用；

*4 光学导航：方便智能，高效率，嵌入式独立彩色光学显微镜，20-120倍

5 电子放大：不小于140,000倍（非数字放大）

*6 电子光学分辨率：优于10nm

*7 观察状态下可以实时测量功能

*8电子光学照明：CeB6晶体灯丝或者场发射灯丝，非钨灯丝

*9单根灯丝寿命：≥1200小时

电子枪加速电压：5kV-10kV连续可调，调节步进0.1kv

电子枪灯丝更换对中方式：软件自动对中

*12载样抽真空时间：小于30秒

13样品台移动方式：软件控制的马达驱动，通过鼠标点击目标区域后，样品台自动移动至目标区域画面居中，可实现电镜图像即点即得功能；

*14具有样品拍摄位置自动返回功能（返回指定照片位置）；

15 软件平台：不易受病毒影响的linux系统，支持U