1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.53万字
  • 约 16页
  • 2024-01-24 发布于四川
  • 举报

一种薄膜体声波谐振器及其制备方法.pdf

    本申请提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及射频滤波器技术领域，包括：衬底以及依次层叠于所述衬底上的下电极、压电层、电极框架层和上电极，所述衬底和所述下电极之间形成空腔，所述下电极在所述空腔的垂直投影范围内形成增Q结构，所述上电极和所述压电层之间形成第一空气翼和第一空气桥。第一空气翼和第一空气桥能提高谐振器的Q值；而本申请通过在下电极形成增Q结构，改变了下电极的结构，进一步有效提高了谐振器的Q值。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117439569A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311763257.8H03H9/02(2006.01)

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >