位移检测 任务二：直线型光栅位移传感器的应用 (1).pptVIP

任务二直线型光栅位移传感器的应用

知识目标：针对直线型光栅尺的一般应用,掌握直线型位移传感器的使用方法,确保检测的精度和稳定性。

光栅尺:光栅是一种在基体上刻制有等间距均匀分布条纹的光学元件,用于位移检测的光栅称为计量光栅。光栅尺外形如图2-16所示,由移动部分和不动部分组成。移动部分带有输出信号端和电源引线,可通过专用的数显表显示目前的位置。图2-16所示的光栅类型也称为厚尺,通过金属外壳将光栅尺中的检测器件封闭起来;也有外露型的光栅尺,也称为薄尺,大多应用在试验室等干净的环境中。

光栅传感器主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件组成。透射光栅的光路如图2-17所示,从上向下透过两个光栅在光电传感器上产生莫尔条纹,通过光电传感器的明暗变化次数实现检测。

1.光栅检测原理当指示光栅和标尺光栅的条纹相交一个微小的夹角时,由于挡光效应或光的衍射效应,在与光栅条纹大致垂直的方向上产生明暗相间的条纹,这种条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹有如下重要特性。(1)莫尔条纹由光栅的大量刻线共同形成,对线纹的刻画误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除短周期误差的影响。也就是说,光栅上刻画的条纹误差对明暗条纹的影响相对降低,这样可更容易制造光栅。(2)两个光栅相对运动时(光栅条纹的垂直方向),莫尔条纹也在上下运动,移动一个栅距(两个光栅条纹之间的距离),在光电传感器上某一点的光强也变化一个周期。(3)莫尔条纹的间距与两个光栅条纹夹角的关系为:式中,B为莫尔条纹的间距,m;W为光栅栅距,m;θ为两个光栅之间的夹角。

光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化,则将光信号转换为如图2-18.图2-18光栅位移明暗位置与光强之间的关系所示的光强信号。在光电传感器件的固定位置上,光强弱的信号实际上是由明暗位置关系决定的(如图2-18上部所示某一光电器件部位的光接收信号,黑色代表无光,白色代表有光),也即由标尺光栅和指示光栅的相对位置决定。所以,明暗位置关系可以由光强信号间接显示。进一步由光电传感器转换为电压或者电流信号,将此电压或者电流信号经过放大、整形变为方波,经过微分电路转换成脉冲信号,再经过辨向电路和可逆计数器计数,则可在显示元件上以数字形式实时地显示出位移量的大小。

辨向原理:在实际应用中,被测物体的移动方向往往是不固定的。无论标尺光栅还是指示光栅向前或是向后移动,在光电传感器中观察的结果均是莫尔条纹做明暗交替变化。因此,只根据一条莫尔条纹信号无法判别光栅的移动方向。这时,需要用两个有相位差的莫尔条纹进行辨向。为了判断方向,可以使用两套光电转换装置。令它们在空间的相对位置有一定的关系,从而保证它们产生的信号在相位上相差1/4周期,如图2-19所示。标尺光栅可分为上下两个部分,两个部分栅距相同,下光栅比上光栅错后1/4栅距,即1/4周期。同样,在接收光强的地方设置两个光电传感器,分别为光敏元件1和光敏元件2。

如图2-20所示,当光栅正向移动时,光敏元件2比光敏元件1先感光,此时,与门Y1有输出,它控制加减触发装置,使可逆计数器的加法母线为高电位。同时Y1上的输出脉肿又经或门送到可逆计数器的计数输入端,计数器进行加法计数。反转时,光敏元件1比光敏元件2先感光,计数器进行减法计数。以光敏元件1输出信号为A,光敏元件2输出信号为B,则如图2-21所示,A相位在B相位前1/4周期,光栅正向移动,反之则反向移动。这样根据加减法计数既能区别方向,又能自动进行加法或减法计数,每次反映的都是相对于上次的栅距增量,所以这种检测属于增量式检测。

光栅检测系统的几个关键问题:1.检测精度光栅线位移传感器的检测准确度,首先取决于标尺光栅刻线划分度的质量和指示光栅扫描的质量(栅线边沿清晰至关重要),其次才是信号处理电路的质量和指示光栅沿标尺光栅导向的误差。影响光栅尺检测准确度的因素主要是在光栅整个检测长度上的位置偏差和光栅一个信号周期内的位置偏差。光栅尺精度用准确度等级表示。

玻璃透射光栅和金属反射光栅的栅距只采用20μm和40μm,对衍射光栅栅距采用4μm和8μm(1nm光栅除外),光学二倍频后信号周期为2μm和4μm。高级光栅尺要求开式光栅一个信号周期的位置偏差仅为±1%,闭式光栅仅为±2%。光栅信号周期及位置偏差见表2-4。

2.信号处理:光栅检测是将一个周期内的绝对式检测和周期外的增量式检测结合在一起,也就是说,在栅距的一个周期内将栅距细分后进行绝对的检测,超过周期的量程则用连续的增量式检测。为了保证检测的精度,除了对光栅的刻划质量和运动精度有要求外,还必须对光栅的莫尔条纹信号的质量加以要求,因为这影响电子细分的精度,也就是影响光栅检测信号的细分数(倍频数)和检测分辨力(检测步距)。栅距的细分数和准确性也影响光栅检测系统的准确度和检测步