MEMS陀螺半实物仿真系统设计.docxVIP

第6卷第5期2023年9月

飞控与探测

FlightControlDetection

Vol.6No.5September2023

*MEMS陀螺半实物仿真系统设计

*

王灿斌,刘志鹏,邢昌达,李崇(中国海洋大学工程学院·青岛·266100)

摘要:微机电(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)陀螺是基于科氏力原理,用于检测外部旋转的一种角速度传感器。由于MEMS陀螺本身性能的限制,其内部机理研究和接口电路设计的进程发展缓慢。通过分析MEMS陀螺的数学模型,并通过将RLC电路与MEMS陀螺特征方程形式进行对比,说明了借助RLC电路建立MEMS陀螺半实物仿真(Hardware-in-loopSimulation,HILS)系统模型的可行性。在充分考虑了实际MEMS陀螺的输入/输出项、耦合项和谐振频率调节等完整功能的前提下,完成了MEMS陀螺的HILS系统模型各个功能模块的设计。设计的MEMS陀螺的HILS系统模型可实现实际MEMS陀螺的输入输出、谐振频率调节以及角速度检测,并通过一系列实验证实了其性能的可靠性,本设计为将HILS方法应用于MEMS陀螺研究提供了有效的依据。

关键词:MEMS陀螺;等效模型;RLC电路;半实物仿真;模型设计

中图分类号:TH712文献标志码:A文章编号:2096-5974(2023)05-0075-11

Hardware-in-LoopSimulationModelofMEMSGyroscope

WANGCanbin,LIUZhipeng,XINGChangda,LIChong

(SchoolofEngineering,OceanUniversityofChina,Qingdao266100)

Abstract:Micro-Electro-MechanicalSystems(MEMS)gyroscopeisanangularratesensorbasedontheprincipleofCoriolisforceandusedtodetectexternalrotation.DuetothelimitationoftheperformanceoftheMEMSgyroit-self,theprogressofitsinternalmechanismresearchandinterfacecircuitdesignisslow.Inthispaper,themathe-maticalmodeloftheMEMSgyroscopeisanalyzed,andthesimilarityofthecharacteristicequationsoftheRLCcir-cuitandtheMEMSgyroscopeiscompared.ThefeasibilityofestablishingaMEMSgyroscopehardware-in-loopsim-ulation(HILS)systemmodelwiththeaidofRLCcircuitsisdemonstrated.Fullconsiderationisgiventothecom-pletefunctionsoftheactualMEMSgyroscope,sinput/outputitems,couplingitems,tuningfunctions,andsoon.ThedesignofeachfunctionalmoduleoftheHILSsystemmodeloftheMEMSgyroscopeiscompleted.Thereliabil-ityofitsperformancehasalsobeenconfirmedbyaseriesofexperiments.Thispaperprovidesaneffectivebasis