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（四）真空的获得即“抽真空”，是利用各种真空泵将被抽容器中的气体抽出，使该空间的压强低于一个大气压的过程。目前常用的设备有：旋转式机械真空泵、油扩散泵、复合分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵和低温泵等。前三种属于气体传输泵，后四种属于气体捕获泵。第63页,共82页，2024年2月25日，星期天（五）真空系统真空系统一般包括待抽空的容器（真空室）、获得真空的设备（真空泵）、测量真空的器具（真空计）以及必要的管道、阀门和其他附属设备。能使压力从一个大气压力开始变小，进行排气的泵常称为“前级泵”；另一些却只能从较低压力抽到更低压力，这些真空泵常称为“次级泵”。第64页,共82页，2024年2月25日，星期天（六）真空测量测量原理均是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，再经变换后确定容器的压强。当压强改变时，这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象，就是真空测量的基础。第65页,共82页，2024年2月25日，星期天**任何具体的物理特性，都是在某一压强范围才最显著。因此，任何方法都有其一定的测量范围，即为该真空计的“量程”。目前，还没有一种真空计能够测量1大气压至10-10Pa整个范围的真空度。第66页,共82页，2024年2月25日，星期天表2.2几种真空计的工作原理与测量范围名称工作原理测量范围/PaU形管压力计利用大气与真空压差105~10-2水银压缩真空计根据Boyle定律103-10-4电阻真空计利用气体分子热传导104~10-2热偶真空计热阴极电离真空计利用热电子电离残余气体10-1~10-6B-A型真空计10-1~10-10潘宁磁控电离计利用磁场中气体电离与压强有关的原理1~10-5气体放电管利用气体放电与压强有关的原理103~1第67页,共82页，2024年2月25日，星期天4.3薄膜材料的表征薄膜材料在应用之前，对其进行表征是很重要的，一般包括薄膜厚度的测量、薄膜形貌和结构的表征、薄膜的成分分析，这些测量分析结果也正是薄膜制备与使用过程中普遍关心的问题。第68页,共82页，2024年2月25日，星期天一、薄膜厚度的测量薄膜的厚度是一个重要的参数。厚度有三种概念：几何厚度、光学厚度和质量厚度几何厚度指膜层的物理厚度。膜厚的测量方法可分为：光学法、机械法和电学法等。第69页,共82页，2024年2月25日，星期天薄膜厚度测量方法第70页,共82页，2024年2月25日，星期天（一）薄膜厚度的光学测量法薄膜厚度的测量广泛用到了各种光学方法，因为光学方法不仅可被用于透明薄膜，还可被用于不透明薄膜，不仅使用方便，而且测量精度较高。这类方法所依据的原理一般是不同薄膜厚度造成的光程差引起的光的干涉现象。第71页,共82页，2024年2月25日，星期天1．光吸收法光吸收法主要是通过测量薄膜透射光强度而确定薄膜的厚度。此法适合于薄膜沉积过程的在线控制，薄膜厚度均匀性的检测，以及联系薄膜厚度的测量。第72页,共82页，2024年2月25日，星期天2、光干涉法基本原理是利用不同薄膜厚度所造成的光程差引起的光的干涉现象。首先研究一层厚度为d、折射率为n的薄膜在波长为λ的单色光源照射下形成干涉的条件。第73页,共82页，2024年2月25日，星期天薄膜对单色光的干涉条件第74页,共82页，2024年2月25日，星期天薄膜对单色光的干涉条件显然要想在P点观察到光的干涉极大，其条件是直接反射回来的光束与折射后又反射回来的光束之间的光程差为光波长的整倍数。其中，N为任意正整数，AB、BC和AN为光束经过的线路长度（它们分别乘以相应材料的折射率即为相应的光程），θ为薄膜内的折射角，它与入射角θ′之间满足折射定律第75页,共82页，2024年2月25日，星期天观察到干涉极小的条件是光程差等于(N+1/2)λ。但在实际使用时，还要考虑光在不同物质界面上反射时的相位移动。具体来说，在正入射和掠入射的情况下，光在反射回光疏物质中时光的相位移动相当于光程要移动半个波长，光在反射回光密物质中时其相位不变。而透射光在两种情况下均不发生相位变化。掠射:光从光疏介质向光密介质传播，入射角接近于90度时第76页,共82页，2024年2月25日，星期天不透明薄膜厚度的测量如果被研究的薄膜是不透明的，而且在沉积薄膜时或在沉积之后能够制备出待测薄膜的一个台阶，那么即可用等厚干涉条纹或等色干涉条纹的方法方便地测出台阶的高度。第77页,共82页，2024年2月25日，星期天二、薄膜厚度的机械测量法如果薄膜的面积A、密