基于串、并联结构的大流量压电泵的设计及实验研究.pdfVIP

摘要

作为微流控系统的重要组成部分，压电泵因结构简单、制作方便、成本低廉、

体积微小且输出性能可控制等优点，在生物医药、化学化工、微电子器件冷却等

领域有着广泛的应用。不同应用场合对压电泵的输出流量和输出压力的需求不同，

例如，胰岛素推注压电泵需保证小流量、高精度；而计算机芯片水冷用压电泵则

需要较大的输出流量及输出压力。因此研究一款结构简单、成本低廉且可以产生

较大输出压力的大流量压电泵是非常有意义的。

提升压电泵性能的方式主要有三种：一是换用尺寸较大的压电振子；二是借

助位移放大机构提高压电振子的振幅；三是增加压电振子的数量，并随着泵腔数

目的增加，进而衍生出不同的多腔体结构。目前多腔体压电泵的联接方式主要有

三种，分别是串联式、并联式、混联式。虽然压电振子数量的增加，可以有效提

升输出流量和输出压力，但也会使压电泵整体体积变大。因此本文基于串、并联

结构，提出泵腔的“层叠式”分布，以实现压电泵大流量、高压力的输出性能。

研究内容如下：

1、结合压电理论以及振动力学，对压电振子的振动过程进行理论分析，并

讨论压电振子的振动模式以及支撑方式。选定黄铜基板直径为20mm和压电陶

瓷直径为14mm的压电振子，并依据压电振子尺寸设计单向阀以及泵体。

2、结合仿真软件Ansys对压电振子以及悬臂梁阀片进行固有频率的仿真分

析，得到其在不同共振频率下的振型，选取合适的工作频率范围。通过激光位移

传感器测量压电振子的振幅，由此结果作为设计泵体尺寸的参考。

3、制作、装配单腔压电泵样机，使用控制变量法对压电泵的泵腔高度以及

支撑宽度进行实验对比，得到性能最佳结构参数。结合得到的参数设计、制作双

腔串联压电泵、四腔串联压电泵、由两个四腔串联压电泵并联而成的八腔并联压

电泵，测试其输出流量和输出压力，进而得到串、并联结构对压电泵性能的影响

规律。

4、实验测试压电泵输出性能。在电压有效值为170V、工作频率为210Hz的

情况下，单腔压电泵最大输出流量为36mL/min；在电压有效值170V、工作频率

为120Hz的情况下，双腔串联压电泵输出流量最大为49mL/min，输出压力最大

为35kPa；在电压有效值为170V、工作频率为400Hz的情况下，四腔串联压电

泵输出流量最大为114mL/min，输出压力最大为145kPa；在电压有效值170V、

工作频率为400Hz的情况下，八腔并联压电泵异步驱动的输出流量最大为

210mL/min，同步驱动的输出流量最大为211mL/min。由实验得到的数据可得：

在多腔压电泵中，串联可以有效提升输出压力，并联可以有效提升输出流量，而

将两者结合则既有输出压力也有输出流量。利用本文提出的结构以及串、并联构

造方式可以制作出高性能压电泵，为未来研发更高性能压电泵奠定基础。

关键词：压电泵；串联；并联；悬臂梁阀片；层叠式；大流量

Abstract

Asanimportantcomponentofmicrofluidicsystems,piezoelectricpumpshavea

widerangeofapplicationsinbiomedicine,chemicalengineeringandmicroelectronic

devicecoolingduetotheirsimplestructure,easeofmanufacture,lowcost,smallsize

andcontrollableoutputperformance.Forexample,apiezoelectricpumpforinsulin

injectionrequiresasmallflowrate,highaccuracy,whileapiezoelectricpumpfor

computerwatercoolingrequiresalargeroutputflowrateandoutputpressure.Itis

thereforeofgreati