SJ_T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求.docxVIP

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中华人民共和国电子行业标准

SJ/T11762—2020

半导体设备制造信息标识要求

Requirementsforsemiconductorequipmentmanufacturinginformationtagging

2020-12-09发布2020-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

SJ/T11762—2020

目次

前言 III

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

I

SJ/T11762—2020

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。

本标准起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司、北京京仪自动化

装备技术有限公司。

III

SJ/T11762—2020

半导体设备制造信息标识要求

1范围

本标准规定了半导体设备制造信息标识的术语和定义、设计和原则、使用及相应的综合标签库。半导体设备制造信息标识包括半导体制造设备选择、安装、使用和维护时需要的各种类型的技术和商业信息。信息类型包括操作手册/指南、安装手册、维护手册、维护计划、备件/零部件清单、维修/故障排除手册、发行说明、培训手册等。

本标准的目的是规定标记体系、棣记结构以及足够丰富的信息标记，以促进信息的电子交换和分配、信息的拷贝、印刷和屏幕显示稳定精确的在线检索以及在将原始资科整合到培训材料和在线支撑应用方面再使用和再利用信息，本标准的目的是规定文件电子交换、信息检点、信息交互验证时所必需的标记，建立信息交换规范，而不是编写规范或电子演示规范。

本标准不包括信思模型实施的建议或者说明，不包括SGMLXML教程，不包括如何使用所定义的元素或者模块，不包括如间创建文档内容等

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引尉文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注由期的引用文件，其最新版本(包断有的修改单)适用于本文件。

ISO8379.1986/A1:1988标准通用标识语言sGML

3术语和定义

下列术语和定义造用于本文件。3.1

属性attribute

属性是元素开始标签的一种标记结构，用来提供与该元素有关的附加信息。

注：开始标签在数据流中位于元素之前用来确定该元素的起始位置3.2

一致性编写应用程序conformingauthoringapplication

一致性编写应用程序用于创建一致性文档。对于一致性编写应用程序的内部工作是否符合半导体设备制造信息标识规定的标记不做要求，仅要求用于输出交换的终端产品应是一致性文档。

3.3

一致性文档conformingdocument

一致性文档是符合半导体设备制造信息标识为该类文档规定的标记规则和特定信息模型的文档。某个应用程序创建的一致性文档应可在不丢失重要信息的条件下与其他一致性的应用程序进行互换。3.4

一致性元素conformingelement

一致性元素是使用半导体设备制造信息标识为该类元素规定名称和标记规则的元素。一致性应用程序创建的一致性元素应可在不丢失信息的条件下与其他一致性应用程序进行互换。

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SJ/T11762—2020

3.5

一致性呈现应用程序conformingrenderingapplication

呈现是可以让终端用户看见或者理解文档内元素的过程或方法。例如，在纸上打印文档，在屏幕上浏览一系列元素，或通过语音合成表述一系列元素。一致性呈现应用程序应可在不造成信息重大损失的条件下打印或显示一致性文档。呈现内容与原始系统的意图应该是一致的。

3.6

文档document

元素的逻辑集合，如果组合正确，即是传递内部一致信息的一种手段。文档由一个或多个元素组成，并且这些元素应包含在同一个“根”元素内。

3.7

文档类documentclass

一个文档类由遵守一套标记规则的文档或信息片段组成，并且这些文档或信息片段都包含相同的元素和元素关系。通常，一类文档具有几乎相同的结构并且内容类型相似。文档类通常(但不一定)按照结构模型(例如DTD或Schema)划分。