连续式光学磁控溅射镀膜设备.pdfVIP

连续式光学磁控溅射镀膜设备

1范围

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验

方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备（以下简称“设备”）的研发、生产、检验和销售。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2680建筑玻璃可见光透射比、太阳光直接透射比、太阳能总透射比、紫外线透射比及有

关窗玻璃参数的测定

GB/T3797—2016电气控制设备

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件

GB/T11164—2011真空镀膜设备通用技术条件

GB/T11186.1漆膜颜色的测量方法第1部分：原理

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB15760金属切削机床安全防护通用技术条件

GB/T18209.1机械电气安全指示、标志和操作第1部分：关于视觉、听觉和触觉信号的要求

GB/T33051光学功能薄膜表面硬化薄膜硬化层厚度测定方法

GB/T38518柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

连续式光学磁控溅射镀膜设备continuousopticalmagnetronsputteringcoatingequipment

将材料溅射到工件表面进而沉积形成具有一定光学性能薄膜的连续生产设备，常见有采用立式镀

膜腔体的连续线设备。

极限真空ultimatevacuum

空载的真空腔室在未通入工艺气体时，逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。极限真空的单位为

帕（Pa）。

生产节拍productiontakt

设备正常工作时，在设备进口或出口观察，两批玻璃组架进入或出来的最大间隔时间。该时间段内

包括了输送辊道动作、进出口腔室充放气和翻板阀动作过程。生产节拍的单位为秒（s）。

腔室泄漏率chamberleakagerate

单个腔室在进出口密闭状态下，达到一定真空度时，由于漏气渗入到腔室内并影响腔室内压力的气

3

体的流量。腔室泄漏率单位为Pa•m/s。

4组成

1

真空室

包括真空舱体、舱门、仓内挡板等。

抽气系统

包括各级真空泵、冷肼、水汽捕集系统、管道、阀门系统等。

真空测量系统

包括安装在舱体、管道或其它位置的各种用于真空测量的压力计量仪。

镀膜系统

包括但不限于安装在设备内的各种用于沉积膜层的源，例如旋转阴极端头、磁棒、电源、平面阴极、

电子枪蒸发源、电阻蒸发源、中频感应蒸发源、化学气相沉积离子源、热源、电极等。

传动系统

包括设备各部分传动机构所需的伺服电机、减速器、传动带、传动轮、传动辊、动密封元件（磁流

体、磁力耦合器、机械密封）、电机固定座、传动带张紧机构等。

控制系统

包括电控柜、PLC、工控机、控制软件等。

5正常工作条件

冷却水

对冷却水要求如下：

a)进水温度：（20～25）℃；

b)回水温度：小于30℃；

c)水压力：不低于0.4MPa；

d)水质：城市自来水或质量相当的水；

e)电阻：≥3MΩ。

压缩空气

对压缩空气要求如下：

a)气体为洁净干燥空气；

b)空气压力：（0.4±0.1）MPa。

温湿度

对温湿度环境要求如下：

a)主机房的相对湿度保持在30%～65%；

b)真空室外壁不结露；

c)主机房温度应保持不高于35℃，或隔离电气机箱保持温度不高于35℃；

d)无腐蚀性气体。

工作气体