微电子学概论第十课.pptx

微电子学概论第十课微机电系统----超越摩尔定律1

2请在教学网上下载该文献。费曼预言了微机电系统的出现以及它的基本原则。

提纲什么是MEMSMEMS的制造技术几种主要的MEMS器件三维集成—超越摩尔定律3

“微电子”不仅仅需要微电子4孤独的人是可耻的

微电子与真实世界的交互5智能交通远程医疗航天遥感智能家居智能手机

World感知一切6传感云计算核计算DNA感知DNAI/O计算DNA感知DNAI/O计算DNA感知DNAI/O计算DNA感知DNAI/O计算DNA感知DNAI/O完美体系猜想一完美体系猜想二感知才是我们存在的证据和认识世界的唯一途径。

智能系统需要感知世界的信号7重力水空气温度光磁场硬度黏度化学生物声音情绪智能系统与真实世界的传感纽带：微机电系统(MEMS)

终极微电子系统8

什么是微机电系统MEMS:9Micro-Electro-MechanicalSystemMicro-MachineMicro-SystemMEMSMicro-MachineMicro-System

为什么需要MEMS信息系统不断追求小型化体积缩小性能和可靠性提高功耗和成本降低系统缩小的主要途径遵循摩尔定律的IC缩小技术MEMS用来缩小非IC的部分10

为什么需要MEMS？11ControllerSensorActuator微电子技术可以缩小控制部分MEMS机械部分的缩小是整个系统缩小的瓶颈。

什么是MEMS？MEMSIC集成了微传感器，微执行器，信号处理器，控制器，输入输出电路，通讯系统以及电源的系统12Electro-Mechanicalsysteminmicroscopeworld.

MEMS的科学力学电子学化学光学物理学生物学材料学13MEMSMEMSisaInterdisciplinarySciencewhichinvolvesmechanics,electronics,chemistry,optics,physics,biology,materialscienceetc.

MEMS的好处尺寸小可将系统缩小智能能够将力、热、磁和化学信息转换为电子信号集成可采用微电子工艺集成在芯片上可靠性安全功耗低绿色环保14

MEMS的分类机械加速度计，陀螺仪，马达，机器人，喷气发动机，泵，扬声器，环振，阀门，开关热温度、红外成像化学酸碱传感器，成分传感器，浓度传感器光镜面，光栅，通讯，CCD生物生命探测器，机器人，智能注射器，DNA芯片15

世界第一支静电加速度计16ADI制造

固态硅微卫星17

微马达18

MEMS的挑战19SurfacetensionMEMS微观世界中物理法则

MEMS的挑战20微加工高深宽比刻蚀深谷

MEMS的挑战21系统设计和集成sensorControllerExecutionIntegratedSystem

MEMS制造技术22

23MEMS巨型机械制造小型机械；小型机械制造微机械（日本）微电子半导体加工工艺紫外光刻微电铸模制造技术（德国）微机械LIGA自顶向下自底向上

LIGA工艺24

MEMS工艺键合25各向异性腐蚀深槽刻蚀

未来3DIC的CMOS-MEMS集成技术牺牲层技术独立的MEMS系统很高的传感灵敏度较低的寄生效应体积小封装简单复杂的制造过程缺少兼容的材料26ICfirstICandMEMSmixedMEMSfirst

MEMS器件27

非常重要的几类MEMS器件惯性传感器加速度计陀螺仪压力传感器光学MEMS传感器微光开关微光学台面微执行器微喷管微马达生物MEMS器件28

电容式加速度计29

电容式加速度计（放大图）30

微镜面31

微光栅32

微透镜33

微型光学台面34

微光开光351x4opticalswitch1x8opticalswitch

便携式化学传感器36

微马达37

微型喷嘴38美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机（液体气化方式）。微推进器由薄膜加热器、微型喷口等组成。其性能目标为：比冲75～125s，推力0.5mN，功率5W，效率≥50%，质量为几克，大小为1cm2。

微型喷嘴39美国喷气推进实验室(JPL)展示的采用MEMS技术的电阻电热式微推进器样机(固体升华方式)。微推进器由推进剂存贮箱、微阀、微过滤器、微型喷口等组成，微型喷口利用MEMS技术中的体硅工艺制作。其性能目标为：比冲50～75s，推力0.5mN，功率2W/mN，质量为几克，大小为1cm2。

微型喷嘴40组成:由5到6片芯片叠在一起，内有混合燃烧室、喷口喷管、两个泵和两个阀以及冷却管道的多器件集成系统。用液态氧和乙醇作燃料性能：能产生15N的推力，推力重量比达1500:1，是大火箭推进器的10~1