CF制程简介雷清芳-课件.pptVIP

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  • 2024-09-25 发布于北京
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CF制程简介雷清芳BM光阻異物特徵:從反射光中較易看出,如果從透射光去看可以看見開口部有異物,形成遮光現象。反射光透射光CF制程简介雷清芳R光阻異物特徵:從反射光中較易看出,如果從透射光去看可以看見當站製程衍生出的不明異物,形成黑欠現象。反射光透射光CF制程简介雷清芳Lip光阻異物特徵:從反射光中較易看出,當站製程圖形中可以看見當製程異物呈現薄狀、條狀、帶狀異物。反射光透射光CF制程简介雷清芳黑色異物特徵:從反射光中較易看出,當站製程出現不明黑色異物,穿透光無法穿透,形成遮光現象。反射光透射光CF制程简介雷清芳纖維異物特徵:從反射光中較易看出,圖形成線長條不規則曲線。反射光透射光CF制程简介雷清芳散佈金屬異物特徵:從反射光中較易看出,可以看見開口部有多數小碎形異物(經分析多為金屬),利用穿透光無法穿透,形成遮光現象。反射光透射光CF制程简介雷清芳Mura本來是一個日本字,隨著液晶顯示器在世界各地發揚光大,成為一個全世界都可以通的文字。主要是指顯示器亮度不均勻造成各種痕跡的現象。CF制程简介雷清芳放射狀Mura特徵:綠燈下可見放射狀色層差異,大多為基板在減壓乾燥時由於氣流和溫度的影響引起,以致光阻表面乾燥不均。CF制程简介雷清芳丘Mura特徵:類似蝴蝶翅膀狀的點不均(兩個圓形交接),可能固定或不固定點。一般固

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