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基于牺牲层工艺的CMUT宽频匹配封装技术研究.pdf

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    摘要

    电容式微机械超声换能器（CapacitiveMicromechanicalUltrasonicTransducer,

    CMUT）以其结构精简、高分辨率等显著优势，在超声检测、医疗诊断等领域展

    现出更为广阔的应用前景。相较于传统压电换能器，其避免了体积庞大、带宽受

    限、难以集成化等弊端。特别是在超声成像系统等对工作环境有特殊要求的情境

    下，CMUT的水密封装设计成为了系统设计研究中的关键环节。针对这一核心

    问题，本文基于CMUT、声阻抗及复合材料的相关理论进行了深入探索，成功

    制备了一种采用牺

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