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接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范

1范围

本规范适用于接触（触针）式表面轮廓测量仪的校准。

引用文件

本规程引用下列文件

JJF1001-2011通用计量术语及定义

JJF1059.1-2012测量不确定度评定与表示

GB/T19600-2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准

GB/T6062-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性

JB/T11271-2012接触（触针）式表面轮廓测量仪

凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修订单）适用于本规范。。

概述

图1接触（触针）式表面轮廓测量仪

1-底座；2-工作台；3-触针；4-传感器；5-基准导轨；

6-立柱；7-驱动箱；8-计算机；9-信号处理器

接触（触针）式表面轮廓测量仪（以下简称轮廓仪）是测量各种机械零件形状和截面轮廓形状的精密设备。

轮廓仪工作原理：以导轨为基准，触针沿着工件表面运动，记录测量仪的表面轮廓曲线，计算并评定轮廓的尺寸、角度、圆弧半径等二维形状位置参数的测量仪器。

轮廓仪的型式如图1所示

计量特性

4.1X轴导轨直线度

4.2轮廓水平分量（X轴）示值误差。

4.3轮廓垂直分量（Z轴）示值误差。

4.4角度测量示值误差。

4.5圆弧半径测量示值误差。

4.6重复性

5校准条件

5.1环境条件

校准室内应无影响测量的灰尘、振动、气流、腐蚀性气体和较强磁场。其他环境条件见表1。

表1校准环境条件

实验室温度/℃

室温变化/（℃/h）

平衡温度时间/h

实验室相对湿度/%RH

20±3

≤1

≥2

≤65

5.2测量标准及其他设备

轮廓仪的测量标准及其他设备见表2。

表2测量标准及其他设备一览表

序

号

校准项目

测量标准及其他设备

1

X轴导轨直线度

平面平晶：1级

2

轮廓水平分量（X轴）示值误差

激光干涉仪：MPE:±（0.03μm+1.5×10?6L

3

轮廓垂直分量（Z轴）示值误差

量块：3等；

平面平晶：一级

4

角度测量示值误差

角度块：2级或轮廓标准器：U

5

圆弧半径测量示值误差

标准球或标准半球或轮廓标准器：直径：U≤1/3

圆度：≤1/10MPE

6

重复性

角度块：2级

注：可采用满足测量不确定度要求的其他测量设备进行校准。

6校准项目和校准方法

校准前应检查轮廓仪的外观和各部分相互作用，确认没有影响校准的缺陷后再行校准。

6.1X轴导轨直线度

将平面平晶水平放置在轮廓仪工作台面上，调整平晶工作面与轮廓仪X轴导轨平行。在平面平晶工作面上扫描滑行，从轮廓曲线图上确定校准范围内滑行运动的直线度。

6.2轮廓水平分量（X轴）示值误差

6.2.1轮廓标准器

用轮廓标准器对轮廓仪水平分量的示值误差进行校准（轮廓标准器示例见附录A）。

将轮廓标准器放置在工作台上，调整轮廓标准器的方向与X轴导轨平行，从轮廓标准器基面处开始测量，在X轴测量范围内选择3～5个长度段进行校准，最大长度段不小于X轴行程的66%。

在轮廓曲线中拟合各齿侧边XX线的交点，评价长度段交点间的距离li，与轮廓标准器的实际值进行比较，通过式（1）得到示值误差?

?i

式中：?i—第i段间距的示值误差，mm

li—第i段间距的轮廓仪测量值，mm

Li—第i段间距的样块标准值，mm

6.2.2激光干涉仪

把激光干涉仪的靶镜固定在轮廓仪驱动箱与传感器连接件上，调整激光干涉仪的激光光束与轮廓仪基准导轨平行。在轮廓仪X轴测量范围内选取大致均匀分布的5个测量点，读取各点轮廓仪示值与激光干涉仪示值，轮廓仪示值与激光干涉仪示值之差为各点轮廓水平分量（X轴）示值误差。取其最大值为轮廓水平分量（X轴）示值误差。

可采用满足测量不确定度要求的其他测量设备进行校准

6.3轮廓垂直分量（Z轴）示值误差

在传感器测量范围的正行程内选择3～5个大致均匀的校准点，测量范围应覆盖正行程量程范围的4/5，分别选取对应尺寸的三等量块作为各校准点的标准器。

将平晶放置在工作台上，调整平晶平面方向与X轴导轨平行，将量块依次研合在平面平晶上，调整驱动箱高度，使触针接触量块中间位置且轮廓仪Z轴读数值约为零，不移动驱动箱高度和X轴的情况下，测量三次，得到零位平均读数值?0。根据需要校准的尺寸，移动平晶，使触针以向下自动接触的方式接触其余量块，读取Z轴读数值?i，不移动驱动箱高度和X轴的情况下，测量三次，得到校准点的平均读数值?i。依次在轮廓仪正值范围内测