电子光学基础.ppt

*电子探针（JCXA-733)日本电子公司电子探针显微分析系统（JXA-8100)日本技术JEOL珠式会社电子探针用途：微区成分分析第55页,共63页，星期六，2024年，5月*透射电子显微镜CM12/STEM荷兰飞利浦公司 用途：用于微结构分析第56页,共63页，星期六，2024年，5月*一种金属喷雾粒子的SEM照片第57页,共63页，星期六，2024年，5月*Cu纳米线

该图为在铝阳极氧化膜的孔中生长的Cu纳米线照片。第58页,共63页，星期六，2024年，5月*“飘摇”（碳纳米管）

该图片是一种特定工艺条件下生长的碳纳米管形貌。碳纳米管具有强度高，韧性好的特点，可用于复合材料，还可用于特殊电子元件(如场发射灯丝和平板显示器发光材料)。第59页,共63页，星期六，2024年，5月*“蔓”（羟基磷灰石）

图为羟基磷灰石形貌。其形成过程为：首先在动物身上提取的胶原蛋白复合海绵体，该海绵体经模拟液浸泡后生长形成如图所示的羟基磷灰石。第60页,共63页，星期六，2024年，5月*“巢”(铝阳极氧化膜)

该图为铝阳极氧化膜显微结构。该膜具有防腐、耐磨和绝缘的特性，因此被广泛用于电子和工业领域。第61页,共63页，星期六，2024年，5月凹凸棒石绿泥石蒙脱石叶片状伊利石发状海泡石第62页,共63页，星期六，2024年，5月感谢大家观看第63页,共63页，星期六，2024年，5月*3、电磁透镜电子是带负电的粒子，在静电场中会受到电场力的作用，使运动方向发生偏转，设计静电场的大小和形状可实现电子的聚焦和发散。由静电场制成的透镜称为静电透镜，在电子显微镜中，发射电子的电子枪就是利用静电透镜。静电透镜第23页,共63页，星期六，2024年，5月*运动的电子在磁场中也会受磁场力的作用发生偏折，从而达到会聚和发散，由磁场制成的透镜称为磁透镜。用通电线圈产生的磁场来使电子波聚焦成像的装置叫电磁透镜。电磁透镜第24页,共63页，星期六，2024年，5月*由于静电透镜从性能上不如电磁透镜，所以在目前研制的电子显微镜中大都采用电磁透镜。电磁透镜静电透镜1.改变线圈中的电流强度可很方便的控制焦距和放大倍率1.需改变加速电压才可改变焦距和放大率2.无击穿，供给电磁透镜线圈的电压低2.静电透镜需数万伏电压，常会引起击穿3.像差小3.像差较大Comparison第25页,共63页，星期六，2024年，5月*（1）电磁透镜的聚焦原理 电子在磁场中的运动：电子磁力线第26页,共63页，星期六，2024年，5月*运动电子在磁场中受到Lorentz力作用，其表达式：式中：e-运动电子电荷；v-电子运动速度矢量；B-磁感应强度矢量；F-洛仑兹力。显然，F的方向垂直于矢量v和B所决定的平面，力的方向可由左手法则确定。第27页,共63页，星期六，2024年，5月*（1）v∥B，则F=0，电子不受磁场力作用，其运动速度的大小及方向不变；（2）若v⊥B，即只改变运动方向，不改变运动速度，从而使电子在垂直于磁力线方向的平面上做匀速圆周运动。（3）若v与B既不垂直也不平行，而成一定夹角，则其运动轨迹为螺旋线。第28页,共63页，星期六，2024年，5月*如何使运动的电子在磁场中会聚？轴对称的磁场第29页,共63页，星期六，2024年，5月*电磁透镜聚焦原理示意图1ab第30页,共63页，星期六，2024年，5月*电磁透镜聚焦原理示意图2c第31页,共63页，星期六，2024年，5月*玻璃凸透镜聚焦电磁透镜聚焦原理示意图3d第32页,共63页，星期六，2024年，5月* 与光学透镜相似，电磁透镜的物距、像距和焦距三者之间的关系式及放大倍数为： 1/f=1/L1+1/L2M=L2/L1M=f/(L1-f)f－焦距；L1－物距；L2－像距;M－放大倍数 第33页,共63页，星期六，2024年，5月*电磁透镜的焦距可由下式近似计算 f=K[Ur/（IN)2] K－常数； Ur－经相对论校正的电子的加速电压； （IN)－电磁透镜激磁安匝数(励磁强度，为电流强度I和线圈匝数N之积）。第34页,共63页，星期六，2024年，5月*无论激磁方向如何，激磁焦距总是正的。改变激磁电流，电磁透镜的焦距和放大倍数将发生相应改变。电磁透镜是一种变焦距或变倍率的会聚透镜，这是它有别