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集成电路用化学品项目风险可行性方案
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集成电路用化学品项目风险可行性方案
目录
TOC\h\z18628序言 3
13897一、集成电路用化学品项目选址 3
32766(一)、集成电路用化学品项目选址原则 3
16385(二)、原材料及主要辅助材料供应 4
27839(三)、交通条件 6
5028(四)、自然条件 8
32075(五)、经济发展状况 10
13377(六)、厂址选择 12
18126二、工艺方案的选择 15
28490(一)、基本要求 15
539(二)、典型工艺技术介绍 16
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