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《微电子技术及应用》课程教学大纲

一、课程基本情况

课程代码：101145223505

课程名称（中/英文）：微电子技术及应用/MicroelectronicsTechnologyandApplications

课程类别：专业选修课程

学分：2

总学时：32

理论学时：24

实验/实践学时：8

适用专业：金属材料工程

适用对象：本科

先修课程：材料科学基础、材料物理性能、材料近代分析测试方法

教学环境：多媒体教室/实验室

开课学院：材料科学与工程学院

二、课程简介

1．课程任务与目的

微电子技术及应用是金属材料工程的专业选修课程之一。主要讲述半导体器件以及集成电

路的工艺原理与加工过程。通过该课程的学习，使学生快速了解相关领域的历史、现状及发展，

培养学生专业兴趣并提高分析和解决微电子技术基础问题的能力；对制造半导体器件的基本工

艺原理和工艺加工步骤的认识；同时，对集成电路的制造加工有基本的了解与掌握，培养学生

分析和解决半导体工艺基础问题的能力。这门课为学生后续专业课程的学习和进一步获取有关

专业知识奠定必要的理论基础。通过我国半导体技术及集成电路制造业的发展历史和成果回顾，

激发学生道路自信，从而深入掌握先进的微电子技术，鼓励学生积极参与科技创新实践，勇于

面对挑战，为解决国家重大需求和国际前沿科学问题贡献智慧和力量，提高学生投入经济建设

一线建功立业的热情。

2．对接培养的岗位能力

通过本课程学习培养学生提出问题和分析问题的能力，使学生理论联系实际的能力有所提

高和发展，开阔学生的眼界、启迪并激发学生的探索和创新精神，更深层次的提升其研究素质，

为将来把基础理论与微电子技术最新需求相结合提高工作能力做好储备。

三、课程教学目标

1.课程对毕业要求的支撑

[毕业要求指标点3.2]能够运用工程基础知识，针对金属材料的成分设计、制备加工等复

杂工程问题，通过合理选材，或者设计/开发加工技术及工艺流程，满足特定需求。

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[毕业要求指标点5.1]了解金属材料领域现代专业检测设备、信息技术工具和模拟软件的

使用原理和方法，理解其局限性，并能够选择与使用恰当的仪器、信息资源、工程工具和专业

模拟软件，对金属材料复杂工程问题进行分析、计算与设计。

[毕业要求指标点10.1]具有良好的语言文字表达能力，能够就金属材料复杂工程问题与

业界同行及社会公众进行有效沟通和交流，包括撰写报告和设计文稿、陈述发言、清晰表达或

回应指令。

2.课程教学目标

对应毕业要求指标点，具体内容如下

教学目标1：通过本课程的学习，学生应对制造半导体器件基本工艺原理和加工步骤有清晰、全

面的认识；了解微电子技术及其发展趋势和应用。（支撑毕业要求指标点3.2）

教学目标2：熟悉微电子制造中相关器件、组件的结构和工作原理，具备对工艺方案设计、

相关材料选取、性能测试及可靠性分析的能力。（支撑毕业要求指标点5.1）

教学目标3：具有通过文献检索、资料查询获取知识的能力；养成终身学习的意识和习惯；

具有综合运用微电子技术的科学理论与技术分析并解决工程实际问题的能力。（支撑毕业要求指

标点10.1）

四、教学课时安排

（一）学时分配

主题或知学时完成课程

教学内容总学时

识点讲课实验实践教学目标

主题或知集成电路发展史及工

22001、2

识点1艺介绍

主题或知

半导体制造工艺基础22201、2、3

识点2

主题或知

晶体生长2220