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第61卷第3期真空VACUUMVol.61，No.3
2024年5月May.2024
基于流导法的G-M制冷机低温泵抽速测试与分析*
余彦飞，李晓刚，胡湘娥，陈进文，陈洁心
（中山凯旋真空科技股份有限公司，广东中山528478）
摘要：抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一。除国内企业常用的流量法外，
流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法。本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵
气体抽速的方法，对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气体抽速测试进行了详细介绍。结果表明：
流导法测得低温泵对N和Ar的抽速分别为2410L/s、1884L/s，明显优于国内外同类产品指标；低温泵2
对H抽速为2577L/s，与国内外产品公开技术指标处于相同水平。依照流导法获得的测试结果具有较2
高的准确度和可信度。
关键词：G-M制冷机低温泵；流导法；抽速测试；性能分析
+
中图分类号：TB752.53文献标识码：A文章编号：1002-0322（2024）03-0020-06
doi：10.13385/j.cnki.vacuum.2024.03.04
MeasurementandAnalysisofPumpingSpeedofG-MRefrigeratorCryopumpBased
ontheOrificeMethod
YUYan-fei,LIXiao-gang,HUXiang-e,CHENJin-wen,CHENJie-xin
（ZhongshanKaixuanVacuumScienceTechnologyCo.,Ltd.,Zhongshan528478,China）
Abstract：Pumpingspeedisanimportantindextomeasurethepumpingperformanceofcryopump.Thethroughputmethodis
generallyusedtomeasurethepumpingspeedofcryopumpinChina.Inaddition,theorificemethodisalsoanimportantmethodfor
measuringthecryopumppumpingspeed.Inthispaper,detailedintroductionofpumpingspeedtestfordifferentgasesofZD-200
calibercryopumpwasconductedbasedontheorificemethodspecifiedinthecurrentstandards.Theresultsshowthatthepumping
speedofcryopumpforNandArare2410L/sand1884L/srespectively,whicharesignificantlybetterthantheindicatorsof2
similarproductsathomeandabroad.ThepumpingspeedofcryopumpforHis2577L/s,whichisatthesamelevelasthe2
technicalindicatorsofdomesticandforeignproducts.Thetestresultsobtainedbytheorificemethodhavehighaccuracyandcredibility.
Keywords：G-Mrefrigeratorcryopump;theorificemethod;pumpingspeedmeasure;perf
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