化学气相沉积制备碳化硅涂层的彩色现象原因浅析.pdfVIP

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化学气相沉积制备碳化硅涂层的

彩色现象原因浅析

１１ꎬ２１１１

李江涛ꎬ孙佳庆ꎬ魏庆渤ꎬ张东生ꎬ马美霞

(１.巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司ꎬ河南巩义４５１２００ꎻ

２.郑州大学材料科学与工程学院ꎬ河南郑州４５０００１)

[摘要]针对化学气相沉积(ＣＶＤ)法制备碳化硅(ＳｉＣ)涂层在工程应用中出现的彩色现象ꎬ采用扫描电镜

(ＳＥＭ)、能谱(ＥＤＳ)、Ｘ射线衍射仪(ＸＲＤ)等分析测试方法ꎬ研究了不同空气流量对ＣＶＤ￣ＳｉＣ涂层表面形貌和组

织结构的影响ꎮ结果表明:空气中的Ｏ参与反应生成ＳｉＯ相是涂层表面出现彩色现象的主要原因ꎻ涂层中ＳｉＯ含

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量及涂层厚度的不同使涂层表面呈现彩色时颜色各异ꎻ随着空气流量增大ꎬ涂层表面ＳＥＭ形貌由“砂砾状”演变为

“菜花状”ꎬ最后呈现为“棒状”ꎬ导致涂层致密性下降ꎮ

[关键词]化学气相沉积ꎻＳｉＣ涂层ꎻ彩色现象ꎻ表面形貌ꎻ组织结构

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[中图分类号]ＴＢ３３２[文献标识码]Ｂｄｏｉ:１０.１６５７７/ｊ.ｉｓｓｎ.１００１１５６０.２０２３.００５０

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[文章编号]１００１１５６０(２０２３)０２０１７９０４

ＡｎａｌｙｓｉｓｏｆｔｈｅＲｅａｓｏｎｓｆｏｒＣｏｌｏｒＰｈｅｎｏｍｅｎｏｎｏｆＳｉｌｉｃｏｎＣａｒｂｉｄｅ

ＣｏａｔｉｎｇｓＰｒｅｐａｒｅｄｂｙＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ

１１ꎬ２１１１

ＬＩＪｉａｎｇ￣ｔａｏꎬＳＵＮＪｉａ￣ｑｉｎｇꎬＷＥＩＱｉｎｇ￣ｂｏꎬＺＨＡＮＧＤｏｎｇ￣ｓｈｅｎｇꎬＭＡＭｅｉ￣ｘｉａ

(１.ＧｏｎｇｙｉＶａｎＹｉｈｕｉＣｏｍｐｏｓｉｔｅｓＭａｔｅｒｉａｌＣｏ.ꎬＬｔｄ.ꎬＧｏｎｇｙｉ４５１２００ꎬＣｈｉｎａꎻ

２.ＳｃｈｏｏｌｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇꎬＺｈｅｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＺｈｅｎｇｚｈｏｕ４５０００１ꎬＣｈｉｎａ)

Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｉｎｖｉｅｗｏｆｔｈｅｃｏｌｏｒｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎｏｆｓｉｌｉｃｏｎｃａｒｂｉｄｅ(ＳｉＣ)ｃｏａｔｉｎｇｓｐｒｅｐａｒｅｄｂｙｃｈｅｍｉｃａｌｖａｐｏｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ(ＣＶＤ)ｉｎｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ

ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓꎬｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔａｉｒｆｌｏｗｒａｔｅｓｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆＣＶＤ￣ＳｉＣｃｏａｔｉｎｇｓｗｅｒｅｓｔｕｄｉｅｄｂｙｔｈｅｍｅａｎｓ

ｏｆｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ(ＳＥＭ)ꎬｅｎｅｒｇｙ