如何利用扫描电镜拍出高质量的图像.pptx

西安交通大学材料学院

王伟

;S-2700扫描电镜;如何利用扫描电镜拍出高质量的图像

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;特征X射线;背散射电子

它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性散射而反射回来的电子。;二次电子

它是被入射电子束轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。

在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的电子，结果如图所示。二次电子的能量比较低，一般小于50eV；背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量E0。;电子能谱图;特征X射线

特征X射线是原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。

;二、扫描电镜的构造;扫描电镜由六个系统组成

(1)电子光学系统（镜筒）

(2)扫描系统

(3)信号收集系统

(4)图像显示和记录系统

(5)真空系统

(6)电源系统;(1)电子光学系统（镜筒）

由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束来轰击样品，使样品产生各种物理信号。;(2)扫描系统

扫描系统是扫描电镜的特殊部件，它由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：1)使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描；2)改变入射束在样品表面的扫描振幅，从而改变扫描像的放大倍数。;(3)信号收集系统

扫描电镜应用的物理信号可分为：

1）电子信号，包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，其他电子信号用电子收集器；

2）特征X射线信号，用X射线谱仪检测；

3）可见光讯号（阴极荧光），用可见光收集器。;三、扫描电镜的成像(衬度)原理;实际样品的形状虽然复杂，但都可以被看作是由许多位向不同的小平面组成的，扫描电镜中入射电子束的方向是固定的，由于试???表面凹凸不平，它对试样表面不同处的入射角是不同的，由此产生二次电子的产额上的差异，经调制放大便可得到反映样品形貌的二次电子像。;断口照片;2.原子序数衬度;(1)背散射电子像衬度;(2)吸收电子像衬度;（3）特征X射线衬度

利用特征X射线只与元素种类有关的特性，可对试样作成份检测。

;四、影响扫描电镜像质量的主要因素;影响扫描电镜像质量的主要因素;1.入射束在样品中的扩展效应;;;不同样品,同一能量电子束;2.分辨率(入射电子束斑直径);电子束斑直径的计算公式;对于热发射的钨丝电子枪其亮度可表达为;3.信噪比;4.影响分辨本领的因素还有杂散

电磁场和机械震动等。

5.样品的自然衬度

;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;五、操作要点;六、试样制备;谢谢大家;扫描电镜基本操作;扫描电镜基本操作;扫描电镜基本操作;扫描电镜基本操作;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。10月-2010月-20Saturday,October10,2020

10、人的志向通常和他们的能力成正比例。23:57:3123:57:3123:5710/10/202011:57:31PM

11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。10月-2023:57:3123:57Oct-2010-Oct-20

12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。23:57:3123:57:3123:57Saturday,October10,2020

13、志不立，天下无可成之事。10月-2010月-2023:57:3123:57:31October10,2020

14、ThankyouverymuchfortakingmewithyouonthatsplendidoutingtoLondon.ItwasthefirsttimethatIhadseentheToweroranyoftheotherfamoussights.IfIdgonealone,Icouldnthaveseennearlyasmuch,becauseIwouldnthaveknownmywayabout.

。10十月202