表面气柱型光子晶体面发射蓝光激光器的设计.pdfVIP

摘要

光子晶体激光器具有更大的带宽和更小的发射角度，能够更好地适应高速数据通信的需

求，而且在水下和大气层中，蓝光波段的传输损耗较小，可以实现更远距离的通信。因此，

蓝光波段的激光器通信技术在卫星通信，可见光通信，激光雷达，水下通信等方面有着重要

的应用。垂直腔面发射激光器（VCSELs）存在分布式布拉格反射镜（DBR）外延生长困难，

损耗和串联电阻较大的不足，其实际应用得到了很大的限制。但光子晶体面发射激光器

（PCSELs）具有大面积单模激射、任意光束整形和偏振调控、片上二维光束控制及波长易于

拓展等多种突出优势，其采用光子晶体（PhC）腔，用于隔离单一激光模式并产生垂直发射。

PhC的这一功能允许PCSELs以面积为单位进行功率缩放，同时保持衍射受限光束所需的单

模发射。PCSELs满足了从单个芯片同时实现高功率高质量光束的行业需求。其势必会成为未

来芯片集成，量子通信以及生物传感的更优选择。

本论文基于大禁带宽度、高击穿电压、高饱和电子漂移率和高热导等优点的GaN基III-V

族材料，基于平面波展开法（PWE）光子晶体能带数值分析，并且结合光子晶体微腔与光子

晶体带边激射原理设计出表面气柱型光子晶体面发射蓝光激光器，其利用低折射率多孔GaN

作为包覆层增加PCSELs折射率对比度能够实现有源层与光子晶体层高光场耦合的基模谐振，

从而实现表面空气柱刻蚀PCSELs。主要利用时域有限差分法（FDTD）和严格耦合波分析

（RCWA），对光子晶体面发射激光器进行模拟仿真。主要研究内容和创新成果如下：

1.对光子晶体面发射激光器的工作原理、研究进展进行了讨论，并对光子晶体能带结构、

微腔谐振理论研究；

2.对周期性光子晶体结构进行仿真设计，研究了周期性光子晶体能带结构、光子晶体参

数气柱半径以及晶格常数对谐振波长、品质因子、光学限制因子的调控影响，通过计算结果

优化出基于GaN材料的光子晶体层结构，其中空气柱半径为60nm，晶格常数为216nm，在

该光子晶体结构参数下，面内反馈能够得到增强，其品质因子Q达到18200，光学限制因子

Γ和Γ分别为4.0%、20.0%，设计出基于氮化镓蓝光波段的高光场耦合强度的光子晶体

PhCact

结构；

3.基于氮化镓的光子晶体面发射蓝光激光器结构设计，包括表面刻蚀的光子晶体层晶格

常数、空气柱半径以及刻蚀深度等参数设计，III-V族材料厚度、折射率等激光器层结构参数

设计，其中重点研究了作为包覆层的低折射率多孔GaN层的结构参数对激光器光场-PhC耦

合强度Γ、光场-有源层耦合强度Γ的影响，最终设计优化出实现表面空气柱刻蚀、高光

PhCact

场耦合强度以及基膜谐振的光子晶体面发射激光器结构，其品质因子达到19000，光子晶体

层和有源层限制因子为4.2%、21.8%，激光器阈值增益为77cm-1，满足激光器的制备要求。

关键词：表面气柱，光子晶体面发射激光器，品质因子，耦合强度，基模谐振

Abstract

Thephotoniccrystallaserhaslargerbandwidthandsmallertransmissionangle,whichcan

betteradapttotheneedsofhigh-speeddatacommunication.Moreover,inunderwaterand

atmosphere,thebluebandtransmissionlossissmaller,andcanrealizelongerdistance

communication.Therefore,theblu-raylasercommunicationtechnologyhasimportantapplications

insatellitecommunication,visiblelightcommunication,lidar,underwatercommunicationandso

on.Thep