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硅料性质及处理流程.ppt

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2007年7月;Distill

SiO2+2C?Si+2CO↑

SiO2+SiC?Si+SiO+CO

Purification(Fractionation)

Si+3HCl?SiH2Cl2+H2

Si+3HCl?SiHCl3+H2;PhysicalProperty(Si)

1、Density:

2330kg/m3

2、Rigidity:

6.5

3、Meltingpoint:

1414°C;ChemicProperty(Si)

Lithospherecontent:25.7%,

Atomicweight:28.0855,

Electricconfiguration:[3s23p2],

Valence:4。

Atnormaltemperature,reactionwithalkali、HF、FL,noreactionwithH2SO4、HCL、HNO3etc.;ReactionEquation:;SiliconClassifying

Pot-scrap

;Re-meltmaterials;〔groovysliceandunconventionalslice);〔纯多晶,免洗多晶,铸锭多晶〕;片料预处理生产工艺流程;硅原料处理流程;Silicontreatmentflow

Precleaning

1、Mainlyremovethevisibleoilandimpuritiesonthesurface.

2、Reagentused:detergent,acetone.;1、Thetypesaredividedintofivebracket(N-type,P-type,)2、Thewaytograspthebougie:;1、Resistivitybracket

〔1〕P型电阻率分为0.1-0.2Ω,0.2-0.5Ω,0.5-1.5Ω,1.5-6Ω,6Ω,五档

〔2〕N型和混合型电阻率分为1-2Ω,2-4Ω,4-8Ω,8Ω四档

〔3〕P型电阻率0.1Ω和N型、混合型电阻率1Ω列为重掺;使用的仪器及握探针的手法;1、穿好工作服,口罩,手套,平光眼镜,防止敲伤。

2、去石英时尽量防止把原料敲碎。;1、穿好工作服,防酸手套,平光眼镜等防护用具。

2、把原料上面带有的杂质、石墨等磨去。;Immersing

;Acidcleaning;Alkalicleaning;Drying;Packing;NEEDBACKUPDATAFORBOTTOMCHARTS

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