芯片抛光车间供液系统管路及其成套系统设计 毕设终稿.pdf

中北大学2014届毕业设计说明书

摘要

随着我国社会经济的发展，现代企业建设发展十分迅速，同时也对企业的基

础设施建设提出了更高的要求。而厂矿企业对供水供液的要求也越来越大，在供

液系统方面面临的矛盾和问题日益突出。随着企业生产对供液质量和供液系统可

靠性要求的不断提高，利用先进的自动化技术、控制技术，设计出高性能、高节

能、能适应供液系统复杂环境的恒压、稳流等优良的供液系统成为必然趋势。

本课题针对芯片抛光车间生产的特点，对芯片抛光车间的供液系统管路进行

了研究，采用合理方案对供液系统进行了优化设计。相对于传统的供液管路系统，

本课题主要在供液原理、空间布局，设备选型等方面进行了改良，并用相关软件

进行了空间布局和结构安装图的绘制。

关键词：芯片抛光车间，供液管路,恒压，稳流

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ABSTRACT

Withthedevelopmentofsocietyandeconomy,Notonlythemodernbusiness

buildingdevelopveryrapidly,butalsotherequirementsoncorporateinfrastructure

putforwardhigher.Therequirementsofindustrialenterprisesforwatersupplyisalso

growingandContradictionsandproblemsinthehydraulicsystemfacedincreasingly

prominent.Theflowoffluidsupplysystemthatuseadvancedautomationtechnology,

controltechnology,hasahigh-performance,highenergy,andbeabletoadapttothe

complexenvironmentofthefluidsupplysystemconstantly,steadlyhasbecomean

inevitabletrend.

Thistopic,forthechippolishingworkshopproductioncharacteristics,theliquid

supplysystempipingchippolishingworkshopwerestudiedandusingreasonable

solutionsforthefluidsupplysystemoptimizeddesign.Comparedtoconventional

liquidsupplypipingsystem,themaintopicwasmodifiedinprincipleforthefluid,

spatiallayout,equipmentselection,etc.Atlast,drawoutthespace-relatedsoftware

insallationdiagramofthelayoutandstructure.

Keyword:chippolishingworkshop,liquidpipeline,constant,steadyflow

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目录

1绪论1

1.1课题的工程背景及意义1

1.2国内外发展研究现状与发展趋势1

1.3本说明书的主要研究内容5

1.3.1芯片抛光车间供液系统管路的空间布局设计5

1.3.2供液管路系统及其配套设施的设计5