微电子概论（第3版）课件4-1C集成电路版图设计规则 .pptx

IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微电子概论》（第3版）郝跃贾新章史江一

1.什么是设计规则4.1集成电路版图设计规则2.相对尺寸设计规则3.绝对尺寸设计规则目录4.等比例缩小（shrink）技术

3.绝对尺寸设计规则根据特征尺寸的尺度又称微米设计规则、纳米设计规则以实际的尺寸约束集成电路版图图形TGO：ThickGateOxideLayerPoly：PolyLayerACT：ActiveLayer

3.绝对尺寸设计规则优点：充分挖掘工艺能力，实现更好的电路性能。精确定义了集成电路版图图形尺寸的容差限定，尺寸之间约定相互独立，没有关联。集成电路版图在使用的主流设计规则；缺点：工艺变化引起版图设计规则的调整常常导致需要重新设计集成电路版图。数据库远大于相对设计规则。

3.绝对尺寸设计规则趋势：随着工艺发展，设计规则约束数量急剧膨胀，从100来条，扩充到百万条，对极度复杂的设计规则的检查（DRC）带来巨大的计算资源和时间开销举例：某28nm工艺设计规则

3.绝对尺寸设计规则举例：某28nm工艺部分设计规则

3.绝对尺寸设计规则举例：某28nm工艺部分设计规则

3.绝对尺寸设计规则举例：某2