《传感器技术》实验指导书(09级微电子).docVIP

试验相关说明，请细致阅读：

试验过程中请自带U盘

做好预习，每次试验前检查预习报告。

迟到10分钟以上的同学，另选批次补做试验，并对试验成果做降级处理。

试验均在实训楼319进行。

请严格依据系统中所选批次来试验室做试验，如的确有事无法按时进行试验，请联系其他同学进行调换，并在试验前与指导老师说明状况。除机房试验外，每批试验最多10人。

未能按时进行试验的同学，请关注每个试验中最终一批的试验时间，缺做试验者将取消试验成果，没有试验成果将无法参与本门课程考试，希望大家引起重视。

试验报告完成后请在下一次试验时带到试验室交给老师。

试验过程中请自带U盘

《传感器技术》试验指导书

（微电子工程专业）

指导老师：黄伟

桂林电子科技高校

二ＯＯ九年五月

目录

试验一应变式传感器特性测试2

试验二电感式传感器特性测试7

试验三霍尔传感器应用试验13

试验四传感器应用的计算机仿真16

试验一应变式传感器特性测试

试验目的

1、驾驭金属箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能；

2、了解学习全桥测量电路的构成及其特点、优点；

3、比较单臂电桥与全桥的不同性能、了解其特点。

试验用器件与设备

1、应变式传感器试验台；

2、传感器试验箱；

3、砝码；

4、跳线；

5、万用表等。

试验原理

直流电桥原理：在进行金属箔式应变片单臂、半桥、全桥性能试验之前，我们有必要先来介绍一下直流电桥的相关学问。电桥电路有直流电桥和沟通电桥两种。电桥电路的主要指标是桥路灵敏度、非线性和负载特性。下面详细探讨有关直流电路和与之相关的这几项指标。

平衡条件

直流电桥的基本形式如图1-1所示。R1，R2，R3，R4为电桥的桥臂电阻，RL为其负载（可以是测量仪表内阻或其他负载）。

当RL ∞时，电桥的输出电压V0应为

V0=E()

当电桥平衡时，V0=0，由上式可得到R1R4=R2R3，或

（1-1）

图1-1直流电桥的基本形式

式（1-1）秤为电桥平衡条件。平衡电桥就是桥路中相邻两桥臂阻值之比应相等，桥路相邻两臂阻值之比相等方可使流过负载电阻的电流为零。

平衡状态

单臂直流电桥：

所谓单臂就是电桥中一桥臂为电阻式传感器，且其电阻变更为△R，其它桥臂为阻值固定不变，这时电桥输出电压V0≠0（此时仍视电桥为开路状态），则不平衡电桥输出电压V0为

V0＝(1-2)

设桥臂比n=，由于△R1《R1，分母中可忽视，输出电压便为

V0=

这是志向状况，式（1-2）为实际输出电压，由此可求出电桥非线性误差。实际的非线性特性曲线与志向线性曲线的偏差秤为肯定非线性误差。则其相对线性误差r为：

r===（1-3）

由此可见，非线性误差与电阻相对变更有关，当较大时，就不行忽视误差了。

下面来看电桥电压灵敏度SV。在式（1-2）中，忽视分母中项，并且考虑到起始平衡条件，从式（1-2）可以得到

V0≈（1-4）

电桥灵敏度的定义为

SV=≈=（1-5）

当n=1时，可求得SV最大。也就是说，在电桥电压E确定后，当R1=R2，R3=R4时，电桥电压灵敏度最高。此时可分别将式（1-2）、（1-3）、（1-4）、（1-5）化简为：

V0=（1-6）

r=（1-7）

V0≈（1-8）

SV=（1-9）

由上面四式可知，当电源电压E和电阻相对变更肯定时，电桥的输出电压，非线性误差，电压灵敏度也是定值，与各桥臂阻值无关