电子束蒸发原理.pptVIP

第1页，共11页，星期日，2025年，2月5日蒸镀机照片第2页，共11页，星期日，2025年，2月5日一.金属蒸镀的分类一.热蒸镀二.电子束蒸镀三,溅射蒸镀第3页，共11页，星期日，2025年，2月5日1.热蒸镀ThermalEvaporation就是在高真空下，将所要蒸镀的材料，利用电阻加热到达熔化温度，使其蒸发，达到并附着在基底表面的一种技术。第4页，共11页，星期日，2025年，2月5日2.电子束蒸镀(E-GunEvaporation)就是在高真空下，将所要蒸镀的材料，利用电子束加热到达熔化温度，使其蒸发，达到并附着在基底表面的一种技术。第5页，共11页，星期日，2025年，2月5日3.溅射技术磁控溅射的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar和新的电子；新电子飞向基片，Ar在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。第6页，共11页，星期日，2025年，2月5日二.电子束蒸镀1.特点.相较于热蒸镀的方式电子束蒸镀的方法有其下列的优点。1.可聚焦的电子束，能局部加温元素源，因不加热其它部分而避免污染。2.高能量电子束能使高熔点元素达到足够高温以产生适量的蒸气压。第7页，共11页，星期日，2025年，2月5日2.坩埚示意图第8页，共11页，星期日，2025年，2月5日