《硅片生产工艺及控制》课件——项目七 单晶与多晶清洗工艺.pptxVIP

硅片加工工艺项目七单晶与多晶清洗工艺

项目七单晶与多晶清洗工艺项目目标掌握单晶与多晶清洗操作工艺流程。掌握单晶与多晶清洗工艺控制要点。掌握清洗工艺的设备维护与保养。项目描述硅片清洗的主要目的是将硅块切割后，通过脱胶、插片、清洗、甩干等工艺，将硅片表面的浆料、杂质等清洗干净。本项目的目的是学习硅片清洗的完整操作要点、控制因素，并能对清洗设备进行维护与保养。

项目七单晶与多晶清洗工艺任务一作业准备任务目标认识清洗工艺过程中的所有设备及药品。掌握常见的准备工作。任务描述硅片清洗工艺中，涉及到预清洗、脱胶、插片、清洗、甩干五道工序，这些工艺操作过程中需要的设备、工具较多。本任务学习硅片