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2025.03学技术创新-209-

半导体自动化点胶设备加热结构能耗规律分析

许文强*

(深圳市向宇龙自动化设备有限公司,广东深圳)

:,在提升加热效

摘要随着微电子领域热熔胶广泛应用,加热设备能耗和效率成为生产考虑的必要因素

率和节能减排之间合理分配,对我国日益庞大的半导体产业具有重要意义。以半导体点胶生产常用热熔胶为试

,,得到加热结构随加热功率增

验对象分析加热结构在不同加热功率下,胶水达到指定温度所需时间变化规律

加对加热效率的影响关系。研究结果表明,当加热功率达到或趋近某一临界值时,加热结构的能量耗散成为影

响升温速度的主导因素,加热效率将不再增加。

:;节能减排;半导体

关键词热熔胶;设备能耗;加热效率

中图分类号TN305.94文献标识码A文章编号2096-4390渊2025冤03-0209-04

引言1试验准备

我国半导体产业链逐渐完备,半导体和微电子应常用标准热熔胶胶水容积为30ml、50ml、300

[1],质量大

用越发普及,市场规模逐年快速增长。由于热熔胶固ml,加热结构由于设计方式或使用场景不同

化快、无污染、不变质的特点,被半导体封装领域广泛约从200g至1000g不等。本次试验控制加热形式

[2],图

使用,因此高效、快速熔解热熔胶成为点胶机加热模不变,均采用加热筒对胶筒包裹式加热1即为本

块的技术核心。次试验的加热结构。

根据热力学第一、第二定律,点胶机加热结构的

加热功率越大,胶水熔解速度必然增加。但无限制、无

依据的调高加热功率,势必会造成能耗升高和资源浪

费的现象,同时附带的高电流极易引发线路烧毁等问

[3][4],热熔

题。徐佳宁等认为由于全球化环保意识增强

胶作为一种绿色环保型胶粘剂,在我国使用比例体量

庞大且发展迅猛,对于未来发展应用需要做深入探

[5],得到了不同材

究。赵通过分析多种材料的热熔胶

质在热处理后的粘接强度、剥离强度和分解速率。

在半导体点胶加热设备中,受加热模块结构装图130ml(左)、50ml(中)、300ml(右)热熔胶加热筒示意

配、空气介质、非均布加热等因素影响,常规管道热量试验方案如表1所示,加热质量M=M+M,M为

121

损失计算得出的数值偏小,存在很大局限性[6]。因此,,,因此试验

热熔胶胶水自身质量M2为加热结构质量

[7-9],记录不同加

在前人研究基础上,通过试验的方式热平衡方程式为:

热功率下,热熔胶胶水完全熔解所需时间,定性和定W=McΔT+Mc

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