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皮拉尼真空计规范、校准与测量不确定度标准发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonSpecification,CalibrationandMeasurementUncertaintyofPiraniVacuumGauges

摘要

本报告系统阐述了皮拉尼真空计规范、校准及测量不确定度标准的立项背景、技术内容与发展前景。皮拉尼真空计作为中低真空测量的关键设备，广泛应用于光伏、镀膜、等离子体、照明、冶金及晶体生长等工业领域。由于测量精度受到气体成分、环境条件、传感器特性等多重因素影响，亟需建立统一的技术规范。本标准等同采用国际标准ISO19685:2017，明确了0.01Pa~150kPa压力范围内的技术参数、校准程序和不确定度评估方法，填补了国内真空计校准标准体系的空白。通过规范生产、使用和校准流程，将有效提升测量结果的可比性与溯源性，推动我国真空计量技术的高质量发展。

关键词

皮拉尼真空计；真空校准；测量不确定度；标准规范；计量溯源

PiraniVacuumGauge;VacuumCalibration;MeasurementUncertainty;StandardSpecification;MetrologicalTraceability

正文

1标准立项背景与必要性

皮拉尼真空计基于热传导原理实现真空度测量，具有结构简单、响应快速、成本适中的技术优势，已成为真空系统中低真空段测量的主流设备。在工业应用层面，该仪器不仅用于真空泄漏检测和残余气体分析，还在工艺控制过程中承担定量分析功能。具体而言，在光伏产业中用于测量高真空泵前级压力，在镀膜工艺中监控沉积环境真空度，在单晶炉、蓝宝石炉等高温设备中作为真空连锁控制的关键传感器。

然而，实际应用中存在显著的技术挑战：首先，真空系统中总压力变化、混合气体成分差异、环境温湿度波动等因素会直接影响皮拉尼计的测量信号特征和不确定度分布；其次，传感器的测量范围限定、不确定度限值设置、分辨率参数、工作温度范围、安装方向要求、敏感元件材料特性以及烘烤温度耐受性等关键技术参数，共同决定了仪器的测量精度和校准有效性。现行实践中，用户往往需要在特定工况下进行现场校准，或依赖制造商提供的有限校准数据，这种非标准化操作模式导致测量结果缺乏可比性，严重制约了真空计量体系的完善。

因此，通过制定专门技术标准，系统规定皮拉尼计的使用规范、校准方法和不确定度评定要求，既可帮助用户正确选用和操作不同制造商的产品，又能为检测机构提供统一的校准依据。更重要的是，本标准通过建立标准化程序，将推动皮拉尼真空计制造工艺的优化升级，促进计量值的准确传递与国际互认，最终构建完整的真空计量溯源链条。

2标准范围与技术框架

本标准等同采用国际标准ISO19685:2017《真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度》，技术内容全面覆盖三大核心领域：

2.1术语定义与参数体系

明确定义了皮拉尼真空计相关的17项专业术语，包括响应时间、迟滞效应、灵敏度系数等关键概念。规范了仪器必须标称的基础参数（测量范围、最大允许误差、分辨率）和附加参数（工作温度限值、安装方向要求、传感器材料兼容性等），为产品性能比较提供了基准框架。

2.2校准程序规范

详细规定了校准系统构成要求、标准器选用准则、校准点分布策略以及环境控制条件。特别针对不同气体介质（氮气、氩气等）的校准差异制定了补偿方案，提出了动态校准与静态校准的适用场景。创新性地定义了响应时间表征程序，通过阶跃压力变化实验测定传感器动态特性；制定了迟滞效应评估方法，量化正反行程测量偏差。

2.3不确定度评估模型

建立了完整的测量不确定度评定体系，涵盖标准器引入的不确定度分量、环境条件影响分量、重复性测量分量以及气体成分修正分量。通过案例分析演示了扩展不确定度的计算流程，指导用户根据实际应用场景选择适当的包含因子（k=2或k=3）。该模型与JJF1059.1《测量不确定度评定与表示》保持协调一致。

本标准适用于工作压力范围0.01Pa~150kPa的所有皮拉尼真空计，当用作参考标准时，可与GB/T34873-2017《真空技术真空计与标准真空计直接比较校准》和ISO27893《真空技术真空计四极质谱计的分压校准》形成技术互补，共同构建完整的真空计量标准体系。

3主要参与单位介绍

中国计量科学研究院热工计量科学研究所作为本标准制定的主导单位，是我国真空计量领域的权威技术机构。该所建有国家真空计量基准装置，压力测量范围覆盖10??Pa~10?Pa，不确定度水平达到国际先进。近年来牵头完成“真空计量标准装置升级改造”国家重点研发计划，研制了系列真空标准器，其中动态流量法真空标