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宁波大学专业硕士学位论文

石英晶体谐振器导电高分子电极的材料与工艺优化

摘要

石英晶体谐振器广泛应用于当今的通讯设备和系统中，是众多信号处理和传感器的

核心元器件。传统的石英晶体谐振器是以石英为基底，以金和银等高导电性金属为电极。

随着电子产品的飞速发展，市场对石英晶体谐振器的要求越来越高，突出表现为频率越

来越高，尺寸越来越小。由于电极材料对性能的影响越来越突出，加上降低成本和简化

加工工艺的需求，寻找新的电极材料来替代传统的金属电极对高性能石英晶体谐振器就

显得尤为重要。

聚(3,4-乙烯二氧噻吩)-聚苯乙烯磺酸(PEDOT/PSS)具有良好的导电性，比重相对较

小，是目前性能最好的导电高分子材料之一，已经广泛应用于有机薄膜太阳能电池材料、

OLED材料、透明电极材料的场景和产品之中。在此基础上，经过我们长期的努力，成

功的制成了以导电高分子材料为电极的石英晶体谐振器。在这一应用中，我们发现单纯

的PED