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第54卷第5期红外与激光二程2025年5月
Vol.54No.5InfraredandLaserEngineeringMay2025
微偏振器阵列传感器对准集成技术
纪元宇，关传泷，褚金奎1,2*
(1.大连理工大学机械工程学院，辽宁大连116024;
2.大连理工大学宁波研究院，浙江宁波315016)
摘要：目前分焦面型偏振成像传感器的制备通常依赖于高精度的电子束光刻设备，纳米压印技术可
以低成本高效率地实现微纳偏振器阵列在图像传感器表面的直接集成。针对微纳偏振器阵列集成工
艺中毫米级小尺寸模板的微米级图形跨尺度对准问题，分析了工艺过程中对准偏差对微偏振器偏振性
能的影响，进而设计了基于显微光学图像的对准方案，并搭建高精度对准装置。该装置利用高倍显微
成像获取毫米尺寸纳米压印模板和传感器表面的微观结构，然后利用概率霍夫变换原理和离群值迭代
剔除算法精确提取目标阵列方向信息和位置信息并计算偏差。最后使用精密微动平台实现对准调节，
保证了传感器集成过程的对准技术要求，即扭转对准偏差不超过0.02°，像素位错对准偏差不超过像素
的20%。该对准集成技术保证了微偏振器阵列传感器在500×500偏振像素范围内的像素对准，有效
提高了传感器像素偏振响应的均匀性，相同偏振敏感方向的不同像素响应一致性强，减少了光学串扰
造成的像素损失，提高了偏振探测精度。
纳米压印；金属纳米光栅
关键词：偏振成像；像素对准；显微图像；约
中图分类号：TP212文献标志码：AD0I:10.3788/IRL
引用格式:JIYuanyu,GUANChuanlong,CHUJinkui.Alignmentintegrationtechnologyofmicro-polarizerarraysensor[J].
InfraredandLaser(5)
纪元宇，关传泷，褚金奎.微偏振器阵列传感器对准集成技术[J]．红外与激光工程，2025，54(5)
0引言偏振成像系统在图像传感器上集成微偏振器阵列，阵
列上分区刻划四种偏振方向，每四个微偏振器为一个
自然界中，光线经过不同物体的反射、折射或散
超级像元，同时获取不同方向的偏振强度，传感器感
射后，总会存在不同程度的起偏或退偏特性，且这种
知各区域光强值计算出偏振信息。相比其他图像采
特性往往与目标材料、表面形态等密切相关，但受光
集方式的偏振传感器，分焦面偏振成像系统具有结构
强差影响较小[1-2]。偏振成像通过获取和测量目标的紧凑，实时性强的特点。
偏振特性，揭示淹没在常规光强图像中的详细信息，但分焦面系统中每个微米级像素更容易受到邻
有利于识别在常规光学成像观测中很难区分或无法近微偏振器的光学串扰。为了获得更好的偏振成像
区分的不同目标，目前被广泛应用于水下目标探效果，国内外采用多种方法进行微偏振器阵列与图像
测[3]、生物组织检测[4]、微小缺陷检测以及军事伪装传感器的集成。目前常见的分焦面偏振成像传感器
目标识别[5]等诸多领域，的制造技术，偏振器的制造一般直接包含在标准
为了更好的实现偏振成像，人们研究出了不同结CMOS或CCD制造工艺中。日本奈良先端科学技术
构和原理的偏振成像系统以获得并利用图像中包括大学[7]、美国华盛顿大学[8]、日本SONY公司[9]先后
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