专利视角下长度测量领域干涉仪的技术发展现状.pdfVIP

中阿科技论坛2025年第1期

专利视角下长度测量领域干涉仪的技术发展现状

王  静  秦婷婷  张彩云

（国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心，河南 郑州 450046）

摘要：干涉仪作为一种高精度的测量工具，在长度测量领域发挥着至关重要的作用。其技术特点主要包括高

精度、高灵敏度、非接触式测量以及适用于多种测量环境等，这些特点使得干涉仪在长度测量领域具有不可替代

的优势，但同时也增加了其技术复杂性，成为长度测量领域专利审查的一大难点。文章从专利视角对干涉仪技术

发展现状和特点进行了分析，并利用HimmPat全球专利智能检索分析平台，对干涉仪相关专利进行了全面检索，

从干涉仪整体发展脉络、全球十大申请人专利申请情况、技术来源国和技术流向国等方面分析了专利分布特点，

特别是对6种典型干涉仪技术进行了专利技术路线分析。

关键词：长度测量；干涉仪；国际专利分类；联合专利分类

中图分类号：T-18文献标识码：A

干涉仪是一种光学精密仪器，其基本原理为具有长度的精确比较或绝对测量。

固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变干涉仪作为一种技术研发门槛较高的光学仪器，

化，从而可以通过测量振幅获取波的相位。由于幅度从专利角度而言，对技术研发人员的要求较高，同时

变化依赖于相位差的余弦函数，这种幅度的变化在空对审查员站位本领域技术人员的能力要求也较高。

间上可表现为周期性的条纹，即干涉条纹。干涉仪类熟悉干涉仪的具体工作原理、典型干涉仪的工作结

型多样，按照结构可划分为单路径干涉仪和多路径干构以及干涉仪在专利分类中的特点，会对技术研发

涉仪两类，常见的迈克耳孙干涉仪即属于多路径干涉人员及专利审查员具有一定启发。为此，本文从专利

仪，Sagnac干涉仪则属于单路径干涉仪。图1为典型的角度对长度测量领域所涉及干涉仪的发展脉络进行

迈克耳孙干涉仪和Sagnac干涉仪的光路图。梳理。

1长度测量领域干涉仪的分类特点

在《国际专利分类表》（IPC）中，长度测量领域

对应的分类号为G01B，其大体以机械、电或磁、光学、

流体、声波等不同原理分为10个大组，干涉仪对应了

G01B9/00（包括组中所列的及以采用光学测量方法为

其特征的仪器）下的一点组分类号G01B9/02。

图1  典型的迈克耳孙干涉仪（左）和Sagnac干涉仪（右）光路以2017年02版《联合专利分类表》（CPC）为例，

干涉仪应用非常广泛，可以应用到光学、工程、长度测量领域的分类号共计463条，其中涉及的IPC分

海洋、地震、波谱分析、遥感、雷达等各个行业，较类号共计156条，CPC相对IPC的扩展比不到3倍，而

为典型的应用领域有长度测量、折射率测量等。其中涉及干涉仪的分类号则由原来的6条扩展到现在的103

长度测量领域，在双光束干涉仪中，若介质折射率均条，扩展了约16倍。由此也可以说明，在长度测量领

匀且保持恒定，则干涉条纹的移动由两相干光几何路域，干涉仪技术不仅是一个技术门槛较高的分支，同

径之差发生变化所造成，根据条纹的移动数量可进行时也是一个发展较为迅速的技术分支。

收稿日期：2024-10-09

作者简介：王静（1990— ），女，知识产权师，硕士研究生，研究方向为光电领域专利审查和分