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半导体辅料制备工设备安全操作规程

文件名称：半导体辅料制备工设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体辅料制备工在生产过程中使用的所有设备。为确保操作人员安全，防止事故发生，保障生产顺利进行，特制定本规程。规程要求所有操作人员必须熟悉设备性能、操作规程及安全注意事项，严格遵守操作规程，保证人身和设备安全。

二、操作前的准备

1.个人防护：

操作人员进入车间前，应穿戴符合规定的个人防护装备，包括但不限于防静电工作服、防护眼镜、防尘口罩、防护手套和防滑鞋。长发需束起，避免衣物及头发进入设备。

2.设备检查：

a.检查设备外观是否完好，无裂纹、腐蚀等异常情况。

b.检查设备电气线路是否完好，无裸露、破损现象。

c.检查设备各部件连接是否牢固，无松动。

d.检查设备润滑系统，确保润滑油充足，无漏油现象。

e.检查设备安全防护装置是否正常，如紧急停止按钮、防护罩等。

3.环境检查：

a.检查工作区域是否存在易燃、易爆物品，确保通风良好。

b.检查地面是否清洁、平整，无油污、水迹等。

c.检查消防器材是否在位、有效，如灭火器、消防栓等。

d.检查紧急疏散通道是否畅通，无障碍物。

4.软件准备：

a.确认设备控制系统软件版本是否为最新，无潜在漏洞。

b.检查设备操作手册、维护保养记录等资料是否齐全。

5.材料准备：

a.检查所需辅料是否备齐，质量符合要求。

b.检查辅料储存条件是否符合规定，避免受潮、变质。

6.操作培训：

a.操作前，对操作人员进行设备操作培训，确保其掌握设备的基本操作技能。

b.对操作人员进行安全操作培训，强调安全注意事项。

7.责任落实：

a.明确操作人员、设备维护人员及安全监督人员的职责。

b.操作人员应在熟悉设备操作及安全规程后方可独立操作设备。

8.环境监测：

a.定期对工作环境进行监测，确保其符合国家相关环保要求。

b.对设备产生的废气、废水等污染物进行监测，确保达标排放。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.启动设备前，先进行设备自检，确认设备处于正常状态。

b.按照设备操作手册的指导，依次开启电源、气源、水源等。

c.根据生产需求，设置设备参数，如温度、压力、流量等。

d.检查辅料是否准备就绪，并按照规定的顺序加入设备。

e.启动设备，观察设备运行状态，确保设备运行平稳。

f.在设备运行过程中，定期检查设备各部件运行情况，如温度、压力等。

g.生产完成后，关闭设备，停止气源、水源等。

h.对设备进行清洁和维护，确保设备处于良好状态。

2.作业方式：

a.操作人员应按照设备操作规程进行操作，不得擅自更改设备参数。

b.操作过程中，应保持注意力集中，密切观察设备运行状态。

c.如发现设备异常，应立即停止操作，采取相应措施进行处理。

d.操作人员应定期接受设备操作培训，提高操作技能和安全意识。

3.异常处置：

a.设备发生故障时，应立即停止操作，切断电源，避免事故扩大。

b.根据故障情况，采取相应的应急措施，如切断气源、水源等。

c.及时通知设备维护人员，进行故障排查和维修。

d.在设备维修期间，操作人员应远离故障设备，确保安全。

e.故障排除后，经检查确认设备恢复正常，方可重新启动设备。

4.数据记录：

a.操作人员应详细记录设备运行参数、故障情况、维护保养等信息。

b.定期对记录数据进行整理和分析，为设备维护和改进提供依据。

5.安全检查：

a.操作过程中，应定期进行安全检查，确保操作环境安全。

b.检查内容包括设备运行状态、操作人员行为、安全防护设施等。

c.如发现安全隐患，应立即采取措施消除，确保生产安全。

6.清理与整理：

a.操作完成后，应对设备进行清洁，清理生产现场。

b.整理工具、辅料等物品，确保工作区域整洁有序。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动和噪音。

b.设备各部件温度、压力、流量等参数在设定范围内。

c.设备控制系统显示正常，无错误提示。

d.辅料输送、反应、混合等过程顺利进行，无堵塞或溢出现象。

e.设备润滑系统运行良好，无漏油现象。

f.电气系统无过载、短路等异常情况。

2.异常现象识别：

a.设备运行不稳定，出现振动或噪音异常。

b.设备温度、压力、流量等参数超出设定范围。

c.控制系统显示错误提示或故障代码。

d.辅料输送、反应、混合等过程出现堵塞、溢出或反应不完全。

e.润滑系统出现漏油、油压不足等现象。

f.电气