基于光栅相移和小孔点衍射干涉的波像差测量技术研究.pdfVIP

摘要

点衍射干涉检测技术是为满足光刻物镜超精面形及波像差检测需求而发展起来的一

项新技术。目前，我国在点衍射干涉测量技术方面仍以实验室研究为主，相移问题是限制

成型设备发展的主要问题。常规的点衍射干涉仪主要依赖大口径、大负载的压电陶瓷纳米

位移台（PZT）带动被测件实现相移，而大口径、大负载PZT价格昂贵且依赖进口。为摆

脱点衍射干涉测量对大口径PZT的依赖，探索新的相移或基于小口径PZT相移的点衍射

干涉测量技术将有重要的现实意义。

本文提出利用小口径PZT带动光栅实现相移的点衍射波像差检测方案，利用一维位

相光栅结合滤光光阑对检测波前进行分光，从而生成横向剪切的两个衍射波面；同时，利

用PZT连接一维位相光栅移动引入剪切波面相移，利用CCD相机采集X、Y两个正交方

向上等相位差的相移剪切干涉图像，对剪切图像进行预处理、相位提取、相位解包、相位

拟合及波面重构处理，得到待测波像差信息。论文主要开展了基于光栅相移的点衍射波像

差测量系统的理论分析和实验系统构建两方面研究。

（1）提出用于检测光学系统波像差的共光路光栅相移点衍射干涉测量光路，基于光

栅相移与点衍射干涉原理构建光栅相移横向剪切干涉测量模型，通过理论分析验证了光

栅相移干涉测量方法的可行性。

（2）针对光栅相移技术的原理及实现进行了研究，采用一维光栅分光及滤光光阑滤

光组合的方式实现衍射光束的选择，基于光栅相移原理分析了光栅位移量与衍射波面相

位差之间的关系，并通过对一维光栅衍射效率的仿真分析确定光栅类型及其设计参数。

（3）基于2μm衍射小孔，以25.4mm口径的双凸透镜作为检测对象，完成了测量系

统的器件选型及具体光路计算，设计并加工了滤光光阑及PZT连接结构，最终搭建了实

际实验测量系统，经过对光路的精确调校，成功采集到X、Y正交方向上的清晰相移剪切

干涉图像。

（4）利用七步相移算法进行相位提取，最小二乘法进行解包处理，差分Zernike多项

式实施差分相位拟合与波面重构，完成了对正交方向上的横向剪切图像的处理，成功复原

被测波像差信息。为验证本文提出波像差检测方案的可靠性与准确性，将测量结果与商业

化ZYGO干涉仪测量结果进行对比，两者波面特征一致，其峰-谷误差（PV）的差值为

0.0393λ，均方根误差（RMS）的差值为0.0012λ。

本文基于光栅相移的点衍射波像差测量系统结合了点衍射测量的高精度和共光路剪

切的抗干扰能力强等优点，原理简单、易于实现。经理论分析及实验验证方案可行，检测

结果与ZYGO干涉仪结果相近，达到了预期检测精度。

关键词：光栅相移；点衍射干涉；横向剪切；波像差

本研究得到国家自然科学基金（编号）资助。

Abstract

Pointdiffractioninterferencedetectiontechnologyisanewtechnologydevelopedtomeet

theneedsofultra-precisionsurfaceshapeandwaveaberrationdetectionoflithographyobjective

lens.Atpresent,thepointdiffractioninterferometrytechnologyinChinaisstillmainlybasedon

laboratoryresearch,andthephaseshiftproblemisthemainproblemthatlimitsthedevelopment

ofmoldingequipment.Theconventionalpointdiffractioninterferometermainlyreliesonthe

large-diameterandlarge-loadpiezoelectricceramicnano-displacementstage(PZT)todrivethe

measuredparttoachievephaseshift,whilethelarge-diameterandlarge-loadPZTis