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半导体器件和集成电路电镀工职业健康、安全、环保操作规程

文件名称：半导体器件和集成电路电镀工职业健康、安全、环保操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体器件和集成电路电镀工的日常操作，旨在确保工作人员的职业健康、安全和环境保护。规程要求所有电镀操作必须遵循国家相关法律法规和行业标准，严格执行操作规程，确保设备安全运行，防止事故发生，保护员工身心健康，实现绿色生产。

二、操作前的准备

1.防护措施：

a.操作人员必须穿戴符合国家标准的工作服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩，以防止化学物质对皮肤的直接接触和吸入有害气体。

b.操作过程中，应佩戴耳塞或耳罩，以降低噪音对听力的影响。

c.如需进入电镀槽附近，应穿着防静电鞋，并使用防静电工具。

2.设备状态确认：

a.检查电镀设备是否处于良好状态，包括电源、控制系统、搅拌系统、加热系统等是否正常。

b.检查电镀槽内液体是否清洁，液位是否合适，有无杂质或沉淀物。

c.确认所有安全装置（如紧急停止按钮、防护罩等）是否完好。

3.环境检查：

a.检查操作区域是否通风良好，确保有害气体浓度在安全范围内。

b.检查排水系统是否畅通，防止废水泄漏或溢出。

c.检查应急设施（如消防器材、急救箱等）是否齐全且在有效期内。

4.原料和化学品准备：

a.根据生产需求准备所需电镀化学品，确保化学品质量符合标准。

b.检查化学品储存条件，确保其不受潮、不受热、不受阳光直射。

c.使用前，详细阅读化学品安全技术说明书（MSDS），了解其性质和危害。

5.工作台面整理：

a.清理工作台面，确保无杂物，保持清洁。

b.将工具和备品放置在固定位置，便于操作和取用。

c.确保操作区域无积水，防止滑倒事故。

6.个人培训与确认：

a.操作人员必须接受过专业培训，了解电镀工艺和安全操作规程。

b.操作前，对操作人员进行现场指导和确认，确保其熟悉操作流程和注意事项。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先进行安全检查，确保设备正常、环境安全。

b.穿戴好个人防护装备，包括工作服、防护眼镜、手套、口罩等。

c.按照生产计划准备电镀所需的原材料、化学品和工具。

d.检查并调整电镀槽液位，确保液面在规定范围内。

e.开启设备，进行预热，待设备稳定后，按照工艺参数设置电镀条件。

f.将待镀工件放置在指定位置，确保工件固定牢固。

g.启动电镀过程，监控电镀槽内液体状态和工件镀层质量。

h.电镀完成后，关闭设备，停止电镀过程。

i.检查工件表面质量，如发现问题，按照工艺要求进行处理。

j.清洗工件，去除多余的镀层和化学物质。

k.最后，进行设备清理和现场清洁，关闭电源，穿戴好个人防护装备后离开工作区域。

2.作业方式：

a.操作过程中，应严格按照工艺参数进行，不得随意调整。

b.作业时应保持专注，观察电镀过程，确保工艺稳定。

c.遇到异常情况，应立即停止操作，查找原因并采取措施。

d.使用工具时应轻拿轻放，避免损坏设备或工件。

e.作业时不得擅自离开工作岗位，确保操作安全。

3.异常处置：

a.若发现设备故障，应立即停止操作，并通知维修人员处理。

b.若发现电镀液温度异常，应立即停止加热，待温度恢复正常后再继续操作。

c.若发现工件镀层质量不合格，应查找原因，调整工艺参数或更换电镀液。

d.若发生化学物质泄漏，应立即关闭阀门，穿戴防护装备进行清理，并通知相关人员处理。

e.若发生人员受伤，应立即进行现场急救，并迅速通知医疗部门。

4.记录与报告：

a.操作人员应详细记录操作过程中的各项参数，包括温度、电流、时间等。

b.如发现异常情况或设备故障，应及时填写异常报告，并报告给相关部门。

c.定期对操作记录进行整理和分析，总结经验，改进工艺。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常震动和噪音。

b.电镀槽液位稳定，无泄漏现象。

c.温度控制系统准确，电镀液温度在设定范围内波动。

d.电流和电压稳定，符合工艺要求。

e.搅拌系统运行正常，液体流动均匀。

f.安全防护装置完好，紧急停止按钮响应迅速。

g.排水系统畅通，无堵塞现象。

h.环境监测系统显示，有害气体浓度在安全范围内。

2.异常现象识别：

a.设备出现异常震动或噪音，可能是轴承损坏或传动部件磨损。

b.电镀槽液位异常下降或上升，可能是泄漏或液位控制系统故障。

c.电镀液温度波动过大，可能是加热系统故障或温度传感器失灵。

d.电流或电压不稳定，可能