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Abstract
Sofar,siliconmaterialshaveaccountedformorethan90%oftheinternational
solarcellmaterialsmarket.P-typesiliconmaterialsaccountfor91%ofthephotovoltaic
crystallinesiliconmarketshare,andn-typesilicononlyaccountsfor9%.However,
boron-dopedp-typesiliconsolarcellshavetheproblemoflight-induceddegradation
causedbyboron-oxygencomplexes.Becausen-typesiliconhastheadvantagesofhigh
toleranceofmetalimpurities,longlifetimeofminoritycarriersandnoneedtoworry
aboutlight-induceddegradation,moreandmorephotovoltaiccompaniesand
laboratoriesareincreasinginvestmentinhigh-efficiencyn-typesiliconsolarcells.Iron
(Fe)isoneofthemostcommonandharmfulmetalimpuritiestosolarcells.Itis
necessarytostudytheexistenceformandelectricalpropertiesofironinn-typesilicon.
Onlybydeeplyunderstandingthevariousbehaviorsofironinn-typesiliconcanthe
goalofimprovingsolarcellefficiencythrough“defectengineering”beachieved
Inthispaper,electronbeaminducedcurrent(EBIC)anddeepleveltransient
spectroscopy(DLTS)areusedtosystematicallystudytheelectricalpropertiesofiron-
relateddefectsinn-typesiliconandborondiffusiongettering,whichincludesthe
electricalpropertiesofiron-relateddefectsinn-typedislocatedsilicon,theelectrical
propertiesofironprecipitationinn-typesilicon,andtheborondiffusiongetteringof
iron-relateddefectsinn-typesilicon.Theresearchresultsobtainedinthispaperareas
follows:
(1)Theelectricalpropertiesofiron-relateddefectsinn-typedislocatedsilicon
wereexplored:EBICresultsshowthatdislocationscauseironatomstoaggregate,and
DLTSresultsshowthatcleandislocationsdonotintroducedeep-leveltraps,andK1,
K2,K3threeiron-
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