高重频光纤激光诱导击穿光谱对TC4钛合金的免定标分析.pdfVIP

第33卷第19期光学精密工程Vol.33No.19

2025年10月OpticsandPrecisionEngineeringOct.2025

文章编号1004-924X（2025）19-3032-11

高重频光纤激光诱导击穿光谱对TC4钛合金的

免定标分析

11342*4

朱方印，林锐涛，王斌，蒋二龙，赵楠，周稳稳，

31*1

郑少锋，李嘉铭，张庆茂

（1.华南师范大学光电科学与工程学院，广东广州510006；

2.广东技术师范大学电子与信息学院，广东广州510665；

3.广东省口岸安全智能化检测重点实验室黄埔海关技术中心，广东广州510510；

4.莱森光学（深圳）有限公司，广东深圳518101）

摘要：传统激光诱导击穿光谱（Laser-InducedBreakdownSpectroscopy，LIBS）采用的低重频固体激光器存在长时间连续

工作稳定性不足的问题。光纤激光诱导击穿光谱（FiberLaser-InducedBreakdownSpectroscopy，FL-LIBS）虽然可以提

供更高的长期稳定性，但其重复频率过高，因此，目前皆用时间积分光谱结合参考样品定标曲线法定量分析研究。为摆

脱参考样品的限制，本文在FL-LIBS平台上构建了高速高重频触发门控系统，实现了等离子体瞬态光谱的采集，开发出

免定标定量分析算法，并改进内部参考线法（InternalReferenceSelf-absorptionCorrection，IRSAC）进行光谱自吸收校

正，进一步提高了免定标定量分析的准确度。实验结果表明，TC4钛合金总体分析误差（DistanceError，DE）为

0.883%~3.928%（质量分数），相比未校正自吸收效应减少16.879%~26.597%（质量分数）。这证明了该方法可以在

高重频光纤激光烧蚀的条件下实现高准确度的免定标定量分析，为长时间连续工作的LIBS系统提供了解决方案。

关键词：激光诱导击穿光谱；光纤激光器；定量分析；自吸收效应；自由定标法

中图分类号：O657.3文献标识码：A

doi：10.37188/OPE..3032CSTR：32169.14.OPE..3032

Calibration-freeanalysisofTC4titaniumalloyusing

high-repetition-ratefiberlaser-inducedbreakdownspectroscopy

ZHUFangyin1，LINRuitao1，WANGBin3，JIANGErlong4，ZHAONan2*，ZHOUWenwen4，

31*1

ZHENGShaofeng，LIJiaming，ZHANGQingmao

（1.SchoolofOptoelectronicScienceandEngineering，SouthChinaNormalUniversity，

G