半导体物理基础：半导体器件仿真基础_（14）.器件仿真软件介绍.docxVIP

PAGE1

PAGE1

器件仿真软件介绍

1.器件仿真软件概述

在半导体器件的设计和优化过程中，器件仿真软件起着至关重要的作用。这些软件通过数值模拟方法，对半导体器件的物理特性进行预测和分析，帮助设计者在实际制造之前评估器件的性能和可靠性。本节将介绍几种常用的半导体器件仿真软件，包括SilvacoAtlas、SynopsysSentaurus、TCAD和SentaurusDevice等，并讨论它们的特点和应用场景。

1.1SilvacoAtlas

SilvacoAtlas是一款广泛使用的半导体器件仿真软件，特别适用于二维和三维器件的模拟。它提供了丰富的物理模型和强大的数值求解器，可以模拟从基本的二极管到复杂的集成电路的各种器件。

1.1.1基本功能

物理模型：支持多种物理模型，包括载流子输运、热输运、化学反应等。

数值求解器：采用有限元法（FEM）和有限差分法（FDM）进行数值求解。

材料参数库：内置丰富的材料参数库，支持多种半导体材料。

用户界面：提供图形用户界面（GUI）和脚本接口，方便用户进行仿真设置和结果分析。

1.1.2应用案例

假设我们需要仿真一个简单的MOSFET（金属-氧化物-半导体场效应晶体管），以下是一个基本的仿真流程和代码示例：

#导入SilvacoAtlas库

importatlas

#创建一个新的器件仿真项目

project=atlas.create_project()

#定义器件结构

project.add_region(

name=silicon,

material=silicon,

type=bulk,

doping=1e15,#掺杂浓度

depth=1e-4#器件厚度

)

project.add_region(

name=oxide,

material=oxide,

type=oxide,

thickness=1e-5#氧化层厚度

)

#定义接触

project.add_contact(

name=source,

type=ohmic,

position=[0,0],

area=1e-8

)

project.add_contact(

name=drain,

type=ohmic,

position=[1e-4,0],

area=1e-8

)

project.add_contact(

name=gate,

type=metal,

position=[0.5e-4,1e-5],

area=1e-8

)

#定义物理模型

project.add_model(

name=basic,

type=drift-diffusion,

parameters={

mobility_model:mu0,

recombination_model:srh

}

)

#运行仿真

results=project.run_simulation(

voltage_source=0,

voltage_drain=1,

voltage_gate=0.5

)

#分析结果

print(results.current_drain)#输出漏极电流

print(results.voltage_gate)#输出栅极电压

1.2SynopsysSentaurus

SynopsysSentaurus是另一款功能强大的半导体器件仿真软件，特别适用于复杂器件的三维模拟。它提供了多种物理模型和先进的数值求解技术，能够处理从纳米级到微米级的器件。

1.2.1基本功能

物理模型：支持多种物理模型，包括量子效应、热输运、化学反应等。

数值求解器：采用高阶有限元法（FEM）和有限体积法（FVM）进行数值求解。

材料参数库：内置丰富的材料参数库，支持多种半导体材料。

用户界面：提供图形用户界面（GUI）和脚本接口，方便用户进行仿真设置和结果分析。

1.2.2应用案例

假设我们需要仿真一个三维的FinFET（鳍式场效应晶体管），以下是一个基本的仿真流程和代码示例：

#导入SynopsysSentaurus库

importsentaurus

#创建一个新的器件仿真项目

project=sentaurus.create_project()

#定义器件结构

project.add_region(

name=silicon,

material=silicon,